[實用新型]一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構及治具

有效

• 申請號: 202221293268.5
• 申請日: 2022-05-27
• 公開（公告）號: CN218291099U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發明（設計）人: 劉鑫;蔣懿
• 申請（專利權）人: 成都拓維高科光電科技有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 成都蓉創智匯知識產權代理有限公司 51276
• 代理人: 譚新民

本申請公開了一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構及及治具，包括若干裝載部，工件的每一個邊至少對應一個裝載部，所述每一裝載部包括支撐連接部件和至少一個托部，托部與支撐連接部件連接，托部上設置有在工件裝載時與工件相接觸的托部接觸面，托部接觸面的長度方向為裝載時由工件邊緣向工件中心延伸的距離，托部接觸面的長x1值2cm，托部接觸面的寬為y1，托部的厚為z1，y1值遠小于工件的邊長。本申請減少涂層沉積時出現五彩的現象，提高了工件的有效使用面積。

技術領域

本申請涉及磁控濺射領域，特別涉及一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構及治具。

背景技術

磁控濺射工藝中，工件裝載在治具的裝載結構上進行磁控濺射，在工件上濺射形成涂層，現有的治具的裝載結構如圖1-2所示，圖1-2中，裝載結構為方形框1，方形框1由4個沿長度方向的截面為U形槽的裝載部件2圍成，其中U形槽的深度為2cm，裝載時，工件的一邊的邊緣插入1個裝載部件2的U 形槽，然后移動第二個的裝載部件2，使工件的第二邊的邊緣進入第二個裝載部件2的U形槽，再移動第三個裝載部件2，使工件的第三邊的邊緣進入第三個裝載部件2的U形槽，最后移動第四個裝載部件2，使工件的最后一邊的邊緣進入第四個裝載部件2的U形槽，完成工件的裝載，然后將裝好工件的帶裝載結構的治具進行磁控濺射工藝步驟，完成工件的磁控濺射工藝，在工件上形成涂層。

上述的裝載結構上的工件磁控濺射涂層沉積時出現五彩的現象，五彩的現象的工件一方面使用壽命較短，另一方面影響工件的美觀。

實用新型內容

基于上述問題，本申請提供一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構，該減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構減少涂層沉積時出現五彩的現象，提高了工件的有效使用面積。

一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構，包括若干裝載部，工件的每一個邊至少對應一個裝載部，所述每一裝載部包括支撐連接部件和至少一個托部，托部與支撐連接部件連接，托部上設置有在工件裝載時與工件相接觸的托部接觸面，托部接觸面的長度方向為裝載時由工件邊緣向工件中心延伸的距離，托部接觸面的長x1值2cm，托部接觸面的寬為y1，托部的厚為z1，y1 值遠小于工件的邊長。

可選地，所述每一裝載部還包括至少一個卡部，卡部連接在支撐連接部件上，卡部接觸面的長x2值2cm，卡部接觸面的寬為y1，卡部的厚為z1，y2 值遠小于工件的邊長。

可選地，所述x1值、y1值和z1值根據工件的重量以及沉積過程中運動速度而定。

可選地，所述x2值、y2值和z2值根據工件的重量以及沉積過程中運動速度而定。

可選地，所述x1值為5mm。

可選地，所述x2值為5mm。

可選地，所述卡部接觸面和托部接觸面均為長條形，其中x1值遠大于y1 值或z1值，x2值遠大于y2值或z2值。一種減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構。

可選地，所述x1、x2為直線，y1、y2為弧線，從卡部接觸面的遠離支撐連接部件的一端還設置有與工件距離逐漸遠離的遠離面，從托部接觸面的遠離支撐連接部件的一端還設置有與工件距離逐漸遠離的遠離面。

可選地，所述卡部為由支撐連接部件向工件方向漸開的圓臺形，托部為由支撐連接部件向工件方向漸開的圓臺形。

本申請還提供一種治具。

一種治具，所述治具包括上述的減少涂層沉積時出現五彩的裝載結構。

發明原理及有益效果：

本申請發明人在對現有的出現五彩的現象的涂層工件進行研究分析中發現，出現五彩的現象的涂層的部位位于離工件邊緣的2cm處，而這樣的距離正好為裝載部件2的U形槽的深度，出現五彩的現象在鍍與不鍍的交界處。因此，五彩的現象與裝載結構有關。