[實(shí)用新型]一種減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)及治具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221293268.5
• 申請(qǐng)日: 2022-05-27
• 公開（公告）號(hào): CN218291099U
• 公開（公告）日: 2023-01-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉鑫;蔣懿
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 成都拓維高科光電科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/50
• 分類號(hào): C23C14/50;C23C14/35
• 代理公司: 成都蓉創(chuàng)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51276
• 代理人: 譚新民

1.一種減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，包括若干裝載部(1)，工件(4)的每一個(gè)邊至少對(duì)應(yīng)一個(gè)裝載部(1)，其特征在于：每一所述裝載部(1)包括支撐連接部件(2)和至少一個(gè)托部(3)，托部(3)與支撐連接部件(2)連接，托部(3)上設(shè)置有在工件(4)裝載時(shí)與工件(4)相接觸的托部(3)接觸面(5)，托部(3)接觸面(5)的長(zhǎng)度方向?yàn)檠b載時(shí)由工件(4)邊緣向工件(4)中心延伸的距離，托部(3)接觸面(5)的長(zhǎng)x1值2cm，托部(3)接觸面(5)的寬為y1，托部(3)的厚為z1，y1值遠(yuǎn)小于工件(4)的邊長(zhǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，每一所述裝載部(1)還包括至少一個(gè)卡部(6)，卡部(6)連接在支撐連接部件(2)上，卡部(6)接觸面(5)的長(zhǎng)x2值2cm，卡部(6)接觸面(5)的寬為y1，卡部(6)的厚為z1，y2值遠(yuǎn)小于工件(4)的邊長(zhǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x1值、y1值和z1值根據(jù)工件(4)的重量以及沉積過程中運(yùn)動(dòng)速度而定。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x2值、y2值和z2值根據(jù)工件(4)的重量以及沉積過程中運(yùn)動(dòng)速度而定。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x1值為5mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x2值為5mm。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述卡部(6)接觸面(5)和托部(3)接觸面(5)均為長(zhǎng)條形，其中x1值遠(yuǎn)大于y1值或z1值，x2值遠(yuǎn)大于y2值或z2值。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述x1、x2為直線，y1、y2為弧線，從卡部(6)接觸面(5)的遠(yuǎn)離支撐連接部件(2)的一端還設(shè)置有與工件(4)距離逐漸遠(yuǎn)離的遠(yuǎn)離面(7)，從托部(3)接觸面(5)的遠(yuǎn)離支撐連接部件(2)的一端還設(shè)置有與工件(4)距離逐漸遠(yuǎn)離的遠(yuǎn)離面(7)。

9.根據(jù)權(quán)利要求2所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述卡部(6)為由支撐連接部件(2)向工件(4)方向漸開的圓臺(tái)形，托部(3)為由支撐連接部件(2)向工件(4)方向漸開的圓臺(tái)形。

10.一種治具，其特征在于，所述治具包括權(quán)利要求1-9任一所述的減少涂層沉積時(shí)出現(xiàn)五彩的裝載結(jié)構(gòu)。