[實(shí)用新型]一種多功能石英晶片清洗裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221249863.9
• 申請(qǐng)日: 2022-05-23
• 公開（公告）號(hào): CN217665039U
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐為民;胡節(jié)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 金華鴻瑞電子有限公司
• 主分類號(hào): B08B3/08
• 分類號(hào): B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 杭州寒武紀(jì)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33271
• 代理人: 徐致遠(yuǎn)

本實(shí)用新型針提供了一種多功能石英晶片清洗裝置，包括機(jī)座、設(shè)置于機(jī)座內(nèi)的清洗槽、位于清洗槽一側(cè)且與清洗槽結(jié)構(gòu)相同的腐蝕槽和設(shè)置于機(jī)座上部且位于清洗槽和腐蝕槽之間實(shí)現(xiàn)晶片腐蝕與清洗工作的物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括升降機(jī)構(gòu)、設(shè)置于升降機(jī)構(gòu)上的震蕩機(jī)構(gòu)、設(shè)置于震蕩機(jī)構(gòu)上的轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)、固定設(shè)置于升降機(jī)構(gòu)頂部且受轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的懸臂、設(shè)置懸臂端部的晶片筒置物架和設(shè)置于懸臂上且能驅(qū)動(dòng)晶片筒置物架旋轉(zhuǎn)的曲柄搖桿機(jī)構(gòu)。一種多功能石英晶片清洗裝置操作方便、自動(dòng)化程度高，不僅可以將石英晶片進(jìn)行全面清洗，而且可以方便的調(diào)節(jié)晶片筒置物架內(nèi)置物孔的大小使置物架的適用范圍更廣。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于石英晶片加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種多功能石英晶片清洗裝置。

背景技術(shù)

石英晶體是一種重要的電子材料，沿一定方向切割的石英晶片，用它設(shè)計(jì)制作的諧振器、振蕩器和濾波器等，在穩(wěn)頻和選頻方面都有突出的優(yōu)點(diǎn)，通常在晶片生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)晶片表面進(jìn)行腐蝕清洗，現(xiàn)有技術(shù)中對(duì)晶片腐蝕清洗過(guò)程中由于晶片轉(zhuǎn)移裝置只能進(jìn)行轉(zhuǎn)移以及升降，而加工后的石英晶片由于體積很小容易粘接在一起導(dǎo)致在腐蝕以及清洗過(guò)程中存在腐蝕不全面以及清洗不全面的問(wèn)題，而且現(xiàn)有技術(shù)中的晶片筒置物架在使用時(shí)無(wú)法有效調(diào)節(jié)置物架口大小的問(wèn)題，導(dǎo)致在無(wú)法對(duì)不同尺寸的晶片筒進(jìn)行夾持，使用靈活性較差，不能滿足人們的需求。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提出一種多功能石英晶片清洗裝置通過(guò)在晶片轉(zhuǎn)移裝置上設(shè)置有震蕩機(jī)構(gòu)可以模擬人體將晶片筒在腐蝕槽和清水槽內(nèi)將晶片筒進(jìn)行上下震蕩進(jìn)而達(dá)到對(duì)晶片筒內(nèi)的晶片全面腐蝕清洗，通過(guò)在晶片筒置物架內(nèi)設(shè)置有可調(diào)節(jié)夾持口大小的夾持機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)對(duì)不同和尺寸存晶片筒的穩(wěn)定夾持，有效的解決了現(xiàn)有技術(shù)中的問(wèn)題。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案為：

一種多功能石英晶片清洗裝置，包括機(jī)座、設(shè)置于機(jī)座內(nèi)的清洗槽、位于清洗槽一側(cè)且與清洗槽結(jié)構(gòu)相同的腐蝕槽和設(shè)置于機(jī)座上部且位于清洗槽和腐蝕槽之間用于晶片腐蝕與清洗工作的物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，所述物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)包括升降機(jī)構(gòu)、設(shè)置于升降機(jī)構(gòu)上的震蕩機(jī)構(gòu)、設(shè)置于震蕩機(jī)構(gòu)上的轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)、固定設(shè)置于升降機(jī)構(gòu)頂部且受轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的懸臂、設(shè)置懸臂端部的晶片筒置物架和設(shè)置于懸臂上且能驅(qū)動(dòng)晶片筒置物架旋轉(zhuǎn)的曲柄搖桿機(jī)構(gòu)，所述晶片筒置物架內(nèi)設(shè)置有可以調(diào)節(jié)晶片筒置物架夾持口大小的調(diào)節(jié)裝置。

進(jìn)一步的，所述升降機(jī)構(gòu)包括開設(shè)于機(jī)座內(nèi)部的升降槽、滑動(dòng)設(shè)置于升降槽上且能帶動(dòng)物料轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)升降的升降座和驅(qū)動(dòng)升降座升降的第一驅(qū)動(dòng)裝置，所述震蕩機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于升降座上且與懸臂固定連接的伸縮桿和驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮的第二驅(qū)動(dòng)裝置，所述轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)包括設(shè)置于固定連接于伸縮桿上且能帶動(dòng)伸縮桿轉(zhuǎn)動(dòng)的從動(dòng)輪、設(shè)置于升降座頂部的主動(dòng)輪、連接主動(dòng)輪與從動(dòng)輪的同步皮帶和驅(qū)動(dòng)主動(dòng)輪轉(zhuǎn)動(dòng)的第三驅(qū)動(dòng)裝置，所述升降座上還固定設(shè)置有若干用于伸縮桿導(dǎo)向限位的軸承座。

進(jìn)一步的，所述伸縮桿包括相互活動(dòng)套接的第一伸縮桿、第二伸縮桿和第三伸縮桿，第三伸縮桿的直徑大于第二伸縮桿的直徑，第二伸縮桿的直徑大于第一伸縮桿的直徑，所述機(jī)座頂部開設(shè)有供第一伸縮桿升降的升降孔，調(diào)節(jié)裝置的直徑小于第二伸縮桿的直徑。

進(jìn)一步的，所述第一驅(qū)動(dòng)裝置為滾珠絲桿驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，第一驅(qū)動(dòng)裝置包括第一電機(jī)、受第一電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的第一絲桿、固定設(shè)置于機(jī)座內(nèi)供升降座滑動(dòng)升降的滑軌和固設(shè)于升降座上與絲桿配合工作的螺母座，所述第二驅(qū)動(dòng)裝置為驅(qū)動(dòng)氣缸，所述驅(qū)動(dòng)氣缸的活塞桿與伸縮桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接且能驅(qū)動(dòng)伸縮桿升降，第三驅(qū)動(dòng)裝置為線性電機(jī)。

進(jìn)一步的，所述曲柄搖桿機(jī)構(gòu)包括固定設(shè)置于懸臂上部的第四驅(qū)動(dòng)裝置、受第四驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的曲柄、與曲柄轉(zhuǎn)動(dòng)連接的連桿和與連桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接的搖桿，所述晶片筒置物架受搖桿驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，所述第四驅(qū)動(dòng)裝置為線性電機(jī)。