[實用新型]一種多功能石英晶片清洗裝置

有效

• 申請號: 202221249863.9
• 申請日: 2022-05-23
• 公開（公告）號: CN217665039U
• 公開（公告）日: 2022-10-28
• 發明（設計）人: 徐為民;胡節
• 申請（專利權）人: 金華鴻瑞電子有限公司
• 主分類號: B08B3/08
• 分類號: B08B3/08;B08B3/10;B08B13/00
• 代理公司: 杭州寒武紀知識產權代理有限公司 33271
• 代理人: 徐致遠

1.一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：包括機座、設置于機座內的清洗槽、位于清洗槽一側且與清洗槽結構相同的腐蝕槽和設置于機座上部且位于清洗槽和腐蝕槽之間用于晶片腐蝕與清洗工作的物料轉移機構，所述物料轉移機構包括升降機構、設置于升降機構上的震蕩機構、設置于震蕩機構上的轉向機構、固定設置于升降機構頂部且受轉向機構驅動旋轉的懸臂、設置懸臂端部的晶片筒置物架和設置于懸臂上且能驅動晶片筒置物架旋轉的曲柄搖桿機構，所述晶片筒置物架內設置有可以調節晶片筒置物架夾持口大小的調節裝置。

2.根據權利要求1所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述升降機構包括開設于機座內部的升降槽、滑動設置于升降槽上且能帶動物料轉移機構升降的升降座和驅動升降座升降的第一驅動裝置，所述震蕩機構包括設置于升降座上且與懸臂固定連接的伸縮桿和驅動伸縮桿伸縮的第二驅動裝置，所述轉向機構包括設置于固定連接于伸縮桿上且能帶動伸縮桿轉動的從動輪、設置于升降座頂部的主動輪、連接主動輪與從動輪的同步皮帶和驅動主動輪轉動的第三驅動裝置，所述升降座上還固定設置有若干用于伸縮桿導向限位的軸承座。

3.根據權利要求2所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述伸縮桿包括相互活動套接的第一伸縮桿、第二伸縮桿和第三伸縮桿，第三伸縮桿的直徑大于第二伸縮桿的直徑，第二伸縮桿的直徑大于第一伸縮桿的直徑，所述機座頂部開設有供第一伸縮桿升降的升降孔，調節裝置的直徑小于第二伸縮桿的直徑。

4.根據權利要求3所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述第一驅動裝置為滾珠絲桿驅動機構，第一驅動裝置包括第一電機、受第一電機驅動轉動的第一絲桿、固定設置于機座內供升降座滑動升降的滑軌和固設于升降座上與絲桿配合工作的螺母座，所述第二驅動裝置為驅動氣缸，所述驅動氣缸的活塞桿與伸縮桿轉動連接且能驅動伸縮桿來回升降，第三驅動裝置為線性電機。

5.根據權利要求1或2或3或4所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述曲柄搖桿機構包括固定設置于懸臂上部的第四驅動裝置、受第四驅動裝置驅動轉動的曲柄、與曲柄轉動連接的連桿和與連桿轉動連接的搖桿，所述晶片筒置物架受搖桿驅動轉動，所述第四驅動裝置為線性電機。

6.根據權利要求1或2或3或4所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述晶片筒置物架內均勻開設有若干用于放置晶片筒的置物孔，所述調節裝置包括設置于置物孔內的安裝圓盤、轉動設置于安裝圓盤下方的轉動圓盤、驅動轉動圓盤轉動的第五驅動裝置、設置于轉動圓盤底部的旋轉軸和設置于旋轉軸端部并受轉動圓盤驅動轉動進而對置物孔進行調節的調節桿。

7.根據權利要求6所述的一種多功能石英晶片清洗裝置，其特征在于：所述第五驅動裝置包括第五驅動電機、第五絲桿和設置于第五絲桿上能帶動轉動圓盤轉動的滑動塊，所述轉動圓盤為雙層結構，轉動圓盤包括上圓盤、與上圓盤固定連接的下圓盤和設置于上圓盤和下圓盤之間配合調節桿桿調節的導向槽塊，上圓盤和下圓盤同軸設置，所述上圓盤側面還設置有與滑動塊配合滑動的滑槽。