[實用新型]一種合金熔封用的裝架夾具有效
| 申請號: | 202221233345.8 | 申請日: | 2022-05-23 |
| 公開(公告)號: | CN217544576U | 公開(公告)日: | 2022-10-04 |
| 發明(設計)人: | 劉立菲;李云海;卞小蕾;王毅恒 | 申請(專利權)人: | 無錫中微高科電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/68;H01L21/67 |
| 代理公司: | 無錫市大為專利商標事務所(普通合伙) 32104 | 代理人: | 殷紅梅 |
| 地址: | 214000 江蘇省無錫市*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 合金 熔封用 夾具 | ||
本實用新型屬于集成電路制造技術領域,具體涉及一種合金熔封用的裝架夾具。包括定位托盤和壓板,所述壓板設置在所述定位托盤的上方,所述定位托盤上設置有多個封裝定位槽,所述封裝定位槽包括蓋板定位槽和管殼定位槽,所述管殼定位槽用于對管殼進行定位,所述蓋板定位槽對蓋板進行定位,所述蓋板定位槽與所述管殼定位槽同心設置,所述蓋板定位槽位于所述管殼定位槽的底部。本實用新型結構簡單且使用方便,可以滿足集成電路芯片的高精度封帽,減小蓋板偏蓋的風險,并且能提高封帽裝架的效率,為高精度、高效率封帽提供了新的途徑。
技術領域
本實用新型屬于集成電路制造技術領域,具體涉及一種合金熔封用的裝架夾具。
背景技術
目前,合金熔封裝架有兩種方法,自動裝架機和人工裝架。其中,自動裝架機是通過設置程序讓機械手進行封帽工作。而人工裝架相較機器裝架來說, 更加靈活和便利。人工裝架需在裝架臺中操作,手持管殼,使用鑷子對準焊環的位置,放置蓋板,最后用夾子固定。在這種裝架形式下的封帽精度很大程度取決于人工能力。
在實際使用中存在以下的問題:1. 使用自動裝架機效率低、精度差、成本高,且只能用于特定封裝形式和尺寸的管殼,在使用的靈活性上受到很大限制,不能滿足絕大多數集成電路芯片的封帽需求。2.手工裝架對操作者的要求極高,特別是有封帽精度要求的電路,容易蓋板偏蓋。純靠人工裝架,不僅耗時長,且精度低。
為了集成電路芯片能夠高精度、高效率封帽,亟需一種易操作、效率高、成本低且精度高的裝架夾具。
發明內容
本實用新型提供了一種合金熔封用的裝架夾具,解決了至少一種現有技術中存在的技術問題。
本實用新型采用了如下技術方案:一種合金熔封用的裝架夾具,包括定位托盤和壓板,所述壓板設置在所述定位托盤的上方,所述定位托盤上設置有多個封裝定位槽,所述封裝定位槽包括蓋板定位槽和管殼定位槽,所述管殼定位槽用于對管殼進行定位,所述蓋板定位槽對蓋板進行定位,所述蓋板定位槽與所述管殼定位槽同心設置,所述蓋板定位槽位于所述管殼定位槽的底部。
進一步地,所述管殼定位槽的兩側設置有定位圓角。
進一步地,所述管殼定位槽的深度小于管殼的高度。
進一步地,所述定位托盤上設置有用于壓板定位的定位栓,所述壓板上設置有與定位栓相適配的定位孔。
進一步地,所述定位栓的數量為兩個,兩個所述定位栓設置在定位托盤沿長度方向的兩端。
進一步地,所述蓋板定位槽的底部設置有開口。
進一步地,多個所述封裝定位槽呈陣列排布。
進一步地,所述封裝定位槽設置有十個,沿定位托盤的寬度方向呈兩列設置。
本實用新型的有益效果:本實用新型通過設置蓋板定位槽和管殼定位槽,實現蓋板與管殼的高精度對位;設置多個封裝定位槽,能夠在一個裝架夾具上,實現多個集成電路芯片的封裝,提高了封裝的效率。本實用新型結構簡單且使用方便,可以滿足集成電路芯片的高精度封帽,減小蓋板偏蓋的風險,并且能提高封帽裝架的效率,為高精度、高效率封帽提供了新的途徑。
附圖說明
圖1為本實用新型中定位托盤的俯視圖。
圖2為本實用新型中定位托盤的剖面示意圖。
圖3為本實用新型中壓板的俯視圖。
圖4為本實用新型中壓板的剖面示意圖。
圖5為本實用新型中封裝定位槽的放大圖。
附圖標記:定位托盤1、壓板2、開口3、蓋板定位槽4、管殼定位槽5、定位圓角6、定位栓7、定位孔8。
具體實施方式
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





