[實用新型]一種單晶爐爐體結構

有效

• 申請號: 202221214082.6
• 申請日: 2022-05-20
• 公開（公告）號: CN217781327U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發明（設計）人: 張樂
• 申請（專利權）人: 光科真空科技（泰興）有限公司
• 主分類號: C30B27/02
• 分類號: C30B27/02;C30B29/06
• 代理公司: 無錫義海知識產權代理事務所(普通合伙) 32247
• 代理人: 張春合

本實用新型公開了一種單晶爐爐體結構，特點是所述的上爐室頂部設置有晶體提升旋轉機構，下爐室底部設置有坩堝提升旋轉機構；所述的上爐室與爐蓋之間設置有隔離閥室；所述的上爐室、下爐室的內筒體與外筒體之間均設置有隔水條，隔水條一側與內筒體貼合，另一側與外筒體貼合；所述的內筒體表面設置有若干組導向槽，所述的導向槽呈螺旋狀排列并通過焊接固定設置在內筒體表面；所述的隔水條嵌入設置在導向槽內；所述的上爐室、下爐室的端面法蘭內側設置有環向的密封槽。優點是大大降低了水路發生竄水現象的幾率；爐室的密封效果大大提高，有效避免發生滲漏現象，而且整體結構穩定性較好，減少了維修的頻率，延長了爐體的使用壽命。

技術領域

本實用新型涉及爐體的領域，尤其涉及一種單晶爐爐體結構。

背景技術

單晶爐是一種在惰性氣體環境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長無錯位單晶的設備，爐室為雙層筒狀結構，兩端為法蘭結構，通水冷卻；現有技術中的單晶爐在制作過程中，直接將水路焊接在內筒體表面，操作難度較大，易焊通，而且易導致內筒體及水路發生變形；甚至會導致后期水路發生竄水現象；而且整體結構穩定性較差，故障率高，給后期維修帶來了很大的困難。因此為了使爐體的使用更穩定，使用壽命更長，需要對現有的爐體結構進行一些改進。

實用新型內容

本實用新型的目的在于克服現有技術中存在的缺陷，提供一種結構穩定性好，使用壽命長的單晶爐爐體結構。

為實現上述目的，本實用新型的技術方案是提供了一種單晶爐爐體結構，包括上爐室，下爐室；所述的上爐室頂部設置有晶體提升旋轉機構，所述的下爐室上端設置有爐蓋，下爐室底部設置有坩堝提升旋轉機構；所述的上爐室與爐蓋之間設置有隔離閥室；所述的上爐室、下爐室的內筒體與外筒體之間均設置有隔水條，隔水條一側與內筒體貼合，另一側與外筒體貼合；所述的內筒體表面設置有若干組導向槽，所述的導向槽呈螺旋狀排列并通過焊接固定設置在內筒體表面；所述的隔水條嵌入設置在導向槽內；所述的上爐室、下爐室的端面法蘭內側設置有環向的密封槽。

優選地：每一組所述的導向槽包括兩塊平行且錯位設置的擋板，所述的擋板垂直于內筒體設置；所述的擋板內側設置有彈簧片，彈簧片的上端與擋板相連接，彈簧片的下端為自由端。

優選地：所述的彈簧片自由狀態下與擋板之間設置有夾角α，α45°；所述的彈簧片中間位置設置有凸起。

優選地：所述的隔水條的截面設置為工字型。

優選地：相鄰兩組所述的導向槽之間的間距150mm。

優選地：所述的密封槽設置為U形或燕尾狀；所述密封槽的邊緣均通過圓弧過渡。

本實用新型的有益效果如下：通過將隔水條嵌入設置在導向槽內，同樣能實現隔水條貼緊內筒體表面，無需將隔水條直接焊接在內筒體上，操作方便，有效避免焊接變形給水路造成影響；將導向槽呈螺旋狀排列，便于使隔水條成螺旋狀纏繞在內筒體表面；將導向槽的擋板平行且錯位設置以及將相鄰的導向槽之間的間距設置為150mm，避免區域集中焊接，確保內筒體結構穩定性；擋板內側連接有彈簧片，利用彈簧的彈性對隔水條進行夾緊固定，確保隔水條貼緊內筒體；彈簧片的中間位置設置有凸起，正好與隔水條工字型截面的凹部相配合，對隔水條起到限位及固定的作用；通過在上爐室、下爐室的端面法蘭內側設置環向的密封槽，使筒體的外表面與法蘭之間形成密封，再進行焊接連接；大大提高了密封性能。

本實用新型結構簡單緊湊，穩定性好，隔水條安裝方便，且不易發生移位，有效避免焊接變形給爐體帶來的影響；大大降低了水路發生竄水現象的幾率；爐室的密封效果大大提高，有效避免發生滲漏現象，而且整體結構穩定性較好，減少了維修的頻率，延長了爐體的使用壽命。

附圖說明

圖1是本實用新型結構示意圖；

圖2是本實用新型圖1中上爐室、下爐室結構示意圖；

圖3是本實用新型圖2中A的放大圖；