[實(shí)用新型]一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221214082.6
• 申請(qǐng)日: 2022-05-20
• 公開（公告）號(hào): CN217781327U
• 公開（公告）日: 2022-11-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張樂(lè)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 光科真空科技（泰興）有限公司
• 主分類號(hào): C30B27/02
• 分類號(hào): C30B27/02;C30B29/06
• 代理公司: 無(wú)錫義海知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32247
• 代理人: 張春合

1.一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，包括上爐室(1)，下爐室(2)；所述的上爐室(1)頂部設(shè)置有晶體提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(3)，所述的下爐室(2)上端設(shè)置有爐蓋(4)，下爐室(2)底部設(shè)置有坩堝提升旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)(5)；所述的上爐室(1)與爐蓋(4)之間設(shè)置有隔離閥室(6)；其特征在于：所述的上爐室(1)、下爐室(2)的內(nèi)筒體(8)與外筒體(9)之間均設(shè)置有隔水條(7)，隔水條(7)一側(cè)與內(nèi)筒體(8)貼合，另一側(cè)與外筒體(9)貼合；所述的內(nèi)筒體(8)表面設(shè)置有若干組導(dǎo)向槽(10)，所述的導(dǎo)向槽(10)呈螺旋狀排列并通過(guò)焊接固定設(shè)置在內(nèi)筒體(8)表面；所述的隔水條(7)嵌入設(shè)置在導(dǎo)向槽(10)內(nèi)；所述的上爐室(1)、下爐室(2)的端面法蘭(11)內(nèi)側(cè)設(shè)置有環(huán)向的密封槽(12)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，其特征在于：每一組所述的導(dǎo)向槽(10)包括兩塊平行且錯(cuò)位設(shè)置的擋板(101)，所述的擋板(101)垂直于內(nèi)筒體(8)設(shè)置；所述的擋板(101)內(nèi)側(cè)設(shè)置有彈簧片(102)，彈簧片(102)的上端與擋板(101)相連接，彈簧片(102)的下端為自由端。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的彈簧片(102)自由狀態(tài)下與擋板(101)之間設(shè)置有夾角α，α45°；所述的彈簧片(102)中間位置設(shè)置有凸起(103)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的隔水條(7)的截面設(shè)置為工字型。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，其特征在于：相鄰兩組所述的導(dǎo)向槽(10)之間的間距150mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種單晶爐爐體結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述的密封槽(12)設(shè)置為U形或燕尾狀；所述密封槽(12)的邊緣均通過(guò)圓弧過(guò)渡。