[實(shí)用新型]微型半導(dǎo)體致冷晶粒貼裝裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221189130.0
• 申請(qǐng)日: 2022-05-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN219228315U
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-06-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡植善;王朝陽(yáng)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泉州師范學(xué)院
• 主分類號(hào): H10N10/01
• 分類號(hào): H10N10/01
• 代理公司: 福州元?jiǎng)?chuàng)專利商標(biāo)代理有限公司 35100
• 代理人: 陸帥;蔡學(xué)俊

本發(fā)明涉及一種微型半導(dǎo)體致冷晶粒貼裝裝置，包括框體、三軸運(yùn)動(dòng)模組、控制器、吸放組件、相機(jī)、激光位移測(cè)距傳感器；框體安裝在三軸運(yùn)動(dòng)模組上，由三軸運(yùn)動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)移動(dòng)，框體下端環(huán)設(shè)有光源；相機(jī)安裝在框體上中部，相機(jī)下端的鏡頭與框體同軸設(shè)置；激光位移測(cè)距傳感器安裝在框體一側(cè)面；吸放組件包括步進(jìn)電機(jī)、氣管接頭、吸嘴，所述吸嘴安裝在步進(jìn)電機(jī)的輸出軸末端，氣管接頭連通吸嘴，氣管接頭經(jīng)管路連接真空組件，所述吸嘴位于光源水平面以下；相機(jī)、三軸運(yùn)動(dòng)模組、光源、步進(jìn)電機(jī)、真空組件、激光位移測(cè)距傳感器均與控制器電性連接，本裝置能實(shí)現(xiàn)晶粒的吸取貼放，晶粒吸取的可靠性和穩(wěn)定性高，晶粒能進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，晶粒的放置精度高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種微型半導(dǎo)體致冷晶粒貼裝裝置。

背景技術(shù)

目前，在國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體致冷片的封裝工藝過(guò)程中，點(diǎn)錫過(guò)程已由點(diǎn)膠機(jī)實(shí)現(xiàn)機(jī)器自動(dòng)化，點(diǎn)膠機(jī)通過(guò)將壓縮空氣送入注射器或者是膠瓶中，將膠壓進(jìn)與活塞室相連的進(jìn)給管中，利用壓力進(jìn)行點(diǎn)膠作業(yè)。當(dāng)活塞處于上沖程時(shí)，活塞室中就會(huì)填滿膠；當(dāng)活塞向下推進(jìn)滴膠針頭時(shí)，膠受到壓力便會(huì)從針嘴壓出。滴出的膠量由活塞下沖的距離決定，可以手工調(diào)節(jié)，也可以通過(guò)編程進(jìn)行控制。然而，點(diǎn)膠過(guò)程完成后，在點(diǎn)有錫膠的導(dǎo)流片上進(jìn)行半導(dǎo)體致冷晶粒的擺模貼裝則主要由人工完成。對(duì)于微型產(chǎn)品，晶粒的尺寸更加細(xì)小。以目前常用的微型器件為例，晶粒尺寸的長(zhǎng)、寬、高一般都在0.5mm以內(nèi)。生產(chǎn)過(guò)程，對(duì)合格的產(chǎn)品的晶粒之間的距離精度要求一般在晶粒寬度的10%以內(nèi)，即50微米以內(nèi)甚至更高，使人工操作難度大大增加，需要配合顯微鏡才能完成。不僅工作效率低，而且精度很難保證，從而影響產(chǎn)品的產(chǎn)量和性能。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對(duì)以上不足之處，提供了一種微型半導(dǎo)體致冷晶粒貼裝裝置。

本發(fā)明解決技術(shù)問(wèn)題所采用的方案是，一種微型半導(dǎo)體致冷晶粒貼裝裝置，包括框體、三軸運(yùn)動(dòng)模組、控制器、吸放組件、相機(jī)、激光位移測(cè)距傳感器；

所述框體安裝在三軸運(yùn)動(dòng)模組上，由三軸運(yùn)動(dòng)模組驅(qū)動(dòng)移動(dòng)，框體下端環(huán)設(shè)有光源；

所述相機(jī)安裝在框體上中部，相機(jī)下端的鏡頭與框體同軸設(shè)置；

所述激光位移測(cè)距傳感器安裝在框體一側(cè)面；

所述吸放組件包括步進(jìn)電機(jī)、氣管接頭、吸嘴，所述吸嘴安裝在步進(jìn)電機(jī)的輸出軸末端，氣管接頭連通吸嘴，氣管接頭經(jīng)管路連接真空組件，所述吸嘴位于光源水平面以下；

所述相機(jī)、三軸運(yùn)動(dòng)模組、光源、步進(jìn)電機(jī)、真空組件、激光位移測(cè)距傳感器均與控制器電性連接。

進(jìn)一步的，所述步進(jìn)電機(jī)為中空軸步進(jìn)電機(jī)，氣管接頭安裝在中空軸的上端，中空軸的下端安裝有連接座，吸嘴安裝在連接座內(nèi)并與之沿豎向滑動(dòng)密封，吸嘴周側(cè)套設(shè)有彈簧，彈簧上下端分別連接吸嘴、連接座。

進(jìn)一步的，所述真空組件包括空壓機(jī)、真空發(fā)生器、調(diào)壓閥和三位五通氣動(dòng)電磁閥，所述真空發(fā)生器安裝在吸氣支路上，調(diào)壓閥安裝在調(diào)節(jié)支路上，吸氣支路一端連接空壓機(jī)，另一端經(jīng)三位五通氣動(dòng)電磁閥連接氣管接頭，調(diào)節(jié)支路一端連接空壓機(jī)，另一端經(jīng)三位五通氣動(dòng)電磁閥連接氣管接頭。

進(jìn)一步的，所述電機(jī)經(jīng)電機(jī)座安裝在框體上。

進(jìn)一步的，所述相機(jī)經(jīng)相機(jī)支架安裝在框體上。

進(jìn)一步的，所述框體下端安裝有固定環(huán)，光源安裝在固定環(huán)下端。

進(jìn)一步的，所述光源為L(zhǎng)ED燈。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下有益效果:結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，能實(shí)現(xiàn)晶粒的吸取貼放，晶粒吸取的可靠性和穩(wěn)定性高，晶粒能進(jìn)行旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)，晶粒的放置精度高，貼裝效率高。

附圖說(shuō)明

下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明專利進(jìn)一步說(shuō)明。

圖1是本裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一。