[實用新型]微型半導體致冷晶粒貼裝裝置

有效

• 申請號: 202221189130.0
• 申請日: 2022-05-18
• 公開（公告）號: CN219228315U
• 公開（公告）日: 2023-06-20
• 發明（設計）人: 蔡植善;王朝陽
• 申請（專利權）人: 泉州師范學院
• 主分類號: H10N10/01
• 分類號: H10N10/01
• 代理公司: 福州元創專利商標代理有限公司 35100
• 代理人: 陸帥;蔡學俊

1.一種微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：包括框體、三軸運動模組、控制器、吸放組件、相機、激光位移測距傳感器；

所述框體安裝在三軸運動模組上，由三軸運動模組驅動移動，框體下端環設有光源；

所述相機安裝在框體上中部，相機下端的鏡頭與框體同軸設置；

所述激光位移測距傳感器安裝在框體一側面；

所述吸放組件包括步進電機、氣管接頭、吸嘴，所述吸嘴安裝在步進電機的輸出軸末端，氣管接頭連通吸嘴，氣管接頭經管路連接真空組件，所述吸嘴位于光源水平面以下；

所述相機、三軸運動模組、光源、步進電機、真空組件、激光位移測距傳感器均與控制器電性連接。

2.根據權利要求1所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述步進電機為中空軸步進電機，氣管接頭安裝在中空軸的上端，中空軸的下端安裝有連接座，吸嘴安裝在連接座內并與之沿豎向滑動密封，吸嘴周側套設有彈簧，彈簧上下端分別連接吸嘴、連接座。

3.根據權利要求1或2所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述真空組件包括空壓機、真空發生器、調壓閥和三位五通氣動電磁閥，所述真空發生器安裝在吸氣支路上，調壓閥安裝在調節支路上，吸氣支路一端連接空壓機，另一端經三位五通氣動電磁閥連接氣管接頭，調節支路一端連接空壓機，另一端經三位五通氣動電磁閥連接氣管接頭。

4.根據權利要求1所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述電機經電機座安裝在框體上。

5.根據權利要求1所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述相機經相機支架安裝在框體上。

6.根據權利要求1所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述框體下端安裝有固定環，光源安裝在固定環下端。

7.根據權利要求1或6所述的微型半導體致冷晶粒貼裝裝置，其特征在于：所述光源為LED燈。