[實用新型]一種半導體檢測高精度檢測平臺

有效

• 申請號: 202221167665.8
• 申請日: 2022-05-16
• 公開（公告）號: CN218068200U
• 公開（公告）日: 2022-12-16
• 發明（設計）人: 李濤;劉利
• 申請（專利權）人: 深圳有泰光電有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 蘇州國誠專利代理有限公司 32293
• 代理人: 王麗

本實用新型公開了一種半導體檢測高精度檢測平臺，涉及到檢測設備技術領域，包括設備本體，設備本體的左右兩側表面均固定連接有第一電動滑軌，兩個第一電動滑軌的內壁均滑動連接有第一電動滑塊，兩個第一電動滑塊的上方設置有旋轉機構，設備本體上表面的后側固定連接有電動伸縮塊，電動伸縮塊的上表面固定連接有第一固定塊，第一固定塊的前側表面固定連接有高精度影像儀。本實用新型可以對檢測完畢后的半導體進行自動化取出，不需要人工再將半導體從放置臺上拿下再重新放置，省時省力，提高了設備的檢測效率，設置探照燈、電動伸縮塊、第一固定塊、高精度影像儀，可以提高半導體的檢測精度。

技術領域

本實用新型涉及檢測設備技術領域，特別涉及一種半導體檢測高精度檢測平臺。

背景技術

由于半導體技術的逐漸成熟，人們對于半導體的使用越來越普遍，在使用之前必須對半導體進行檢測后才能使用，這樣就需要耗費大量的人力物力，為了簡化，生產出一種半導體檢測高精度檢測平臺供其檢測。

申請人在發明之間經過檢索發現中國專利公開了“一種半導體晶圓檢測旋轉平臺”，其公開(公告)號為“CN211980579U”，該專利主要通過撥動橫向調節桿和豎向調節桿，使得橫向調節桿和豎向調節桿對晶圓進行限位，通過第一刻度紋和第二刻度紋實現對晶圓進行精準定位，達到提高晶圓檢測的精準度的效果，但是這樣設置雖然檢測精度提高了，但是對半導體材料進行檢測完畢后還需要人工取出，然后再進行下一輪檢測，這樣費時費力，還降低了設備的檢測效率。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體檢測高精度檢測平臺，以解決上述背景技術中提出的但是對半導體材料進行檢測完畢后還需要人工取出，然后再進行下一輪檢測，這樣費時費力，還降低了設備的檢測效率的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體檢測高精度檢測平臺，包括設備本體，所述設備本體的左右兩側表面均固定連接有第一電動滑軌，兩個所述第一電動滑軌的內壁均滑動連接有第一電動滑塊，兩個所述第一電動滑塊的上方設置有旋轉機構，所述設備本體上表面的后側固定連接有電動伸縮塊，所述電動伸縮塊的上表面固定連接有第一固定塊，所述第一固定塊的前側表面固定連接有高精度影像儀，所述設備本體上表面的中心處開設有第一凹槽，所述第一凹槽的內部設置有伸縮機構。

優選的，所述旋轉機構包括兩個固定筒，兩個所述固定筒的下表面均與相對應的第一電動滑塊的上表面固定連接，兩個所述固定筒內壁的下方均固定連接有電機，兩個所述電機的輸出端均固定連接有第一轉軸，兩個所述第一轉軸的上端均貫穿相對應的固定筒內壁的上方并延伸至其上方，兩個所述第一轉軸的上表面均固定連接有第一固定板，兩個所述第一固定板的下方設置有夾持機構。

優選的，所述夾持機構包括兩個第二固定板，兩個所述第二固定板的上表面均與相對應的第一固定板固定連接，兩個所述第二固定板的下表面固定連接有兩個移動方向相反的第二電動滑軌，兩個所述第二電動滑軌的內壁均滑動連接有第二電動滑塊。

優選的，所述伸縮機構包括液壓桿，所述液壓桿的下表面與第一凹槽內壁的下方固定連接，所述液壓桿的輸出端固定連接有放置臺，所述放置臺的內部放置有半導體，所述設備本體內壁下方的左右兩側均固定連接有多個探照燈，多個所述探照燈的上端均貫穿第一凹槽內壁的上方并延伸至其上表面。

優選的，所述兩個第二電動滑塊的相對一側表面均固定連接有墊塊，兩個所述墊塊相對一側表面的下方均開設有與半導體兩端相匹配的第二凹槽。

優選的，所述墊塊的材料為橡膠纖維制成。

優選的，左側的所述第一電動滑軌的前側表面固定連接有收集盒，右側的所述第一電動滑軌的前側表面固定連接有放置盒。

本實用新型的技術效果和優點：