[實(shí)用新型]檢測(cè)機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221160476.8
• 申請(qǐng)日: 2022-05-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217521323U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-09-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李凱;詹超;石佳霖;郭雄偉;王明才
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東晶電子金華有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/28
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/28;G01R1/04;G01R1/067
• 代理公司: 北京友聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11343
• 代理人: 蔣衛(wèi)衛(wèi);尚志峰

本實(shí)用新型提出了一種檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用于檢測(cè)晶片，包括：工作臺(tái)，工作臺(tái)包括底座和與底座相連接的安裝架；滑動(dòng)組件，與安裝架滑動(dòng)連接；第一機(jī)械臂，設(shè)置于滑動(dòng)組件上，第一機(jī)械臂能夠相對(duì)于滑動(dòng)組件移動(dòng)；第一驅(qū)動(dòng)器，與第一機(jī)械臂相連接，用于驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂相對(duì)于沿安裝架移動(dòng)；檢測(cè)器，設(shè)置于第一機(jī)械臂；第二機(jī)械臂，與底座滑動(dòng)連接，用于承載晶片；第二驅(qū)動(dòng)器，與第二機(jī)械臂相連接，用于驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂沿底座滑動(dòng)。本實(shí)用新型所提出的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，第一驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂移動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂滑動(dòng)，滑動(dòng)組件帶動(dòng)第一機(jī)械臂滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)器和晶片位置的自動(dòng)調(diào)整，提升了晶片檢測(cè)的自動(dòng)化程度。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及檢測(cè)設(shè)備領(lǐng)域，具體而言，涉及一種檢測(cè)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

相關(guān)技術(shù)中，在使用檢測(cè)設(shè)備對(duì)石英晶片進(jìn)行檢測(cè)的過(guò)程中，需手動(dòng)調(diào)整設(shè)備，容易使獲得的石英晶片的性能數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，且檢測(cè)過(guò)程自動(dòng)化程度低。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題至少之一，本實(shí)用新型提出了一種檢測(cè)機(jī)構(gòu)。

有鑒于此，本實(shí)用新型提出了一種檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用于檢測(cè)晶片，包括：工作臺(tái)，工作臺(tái)包括底座和與底座相連接的安裝架；滑動(dòng)組件，與安裝架滑動(dòng)連接；第一機(jī)械臂，設(shè)置于滑動(dòng)組件上，第一機(jī)械臂能夠相對(duì)于滑動(dòng)組件移動(dòng)；第一驅(qū)動(dòng)器，與第一機(jī)械臂相連接，用于驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂相對(duì)于沿安裝架移動(dòng)；檢測(cè)器，設(shè)置于第一機(jī)械臂；第二機(jī)械臂，與底座滑動(dòng)連接，用于承載晶片；第二驅(qū)動(dòng)器，與第二機(jī)械臂相連接，用于驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂沿底座滑動(dòng)；其中，滑動(dòng)組件滑動(dòng)至安裝架上的第一預(yù)設(shè)位置，第二驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂滑動(dòng)至底座上的第二預(yù)設(shè)位置時(shí)，第一驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂移動(dòng)以使檢測(cè)器與晶片相接觸。

本實(shí)用新型提供的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，用于對(duì)晶片進(jìn)行檢測(cè)，檢測(cè)機(jī)構(gòu)包括工作臺(tái)、滑動(dòng)組件、第一機(jī)械臂、第一驅(qū)動(dòng)器、第二機(jī)械臂、第二驅(qū)動(dòng)器和檢測(cè)器。其中，工作臺(tái)包括底座和與底座相連接的安裝架，滑動(dòng)組件與安裝架滑動(dòng)連接，第一機(jī)械臂設(shè)置于滑動(dòng)組件上，第一機(jī)械臂能夠相對(duì)于滑動(dòng)組件移動(dòng)，第一驅(qū)動(dòng)器與第一機(jī)械臂相連接，用于驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂相對(duì)于沿安裝架移動(dòng)，檢測(cè)器設(shè)置于第一機(jī)械臂，通過(guò)第一機(jī)械臂位置的移動(dòng)，進(jìn)而可以調(diào)整檢測(cè)器的位置。第二機(jī)械臂與底座滑動(dòng)連接，用于承載晶片，第二驅(qū)動(dòng)器與第二機(jī)械臂相連，用于驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂沿底座滑動(dòng)，通過(guò)第二機(jī)械臂位置的移動(dòng)，進(jìn)而可以調(diào)整晶片的位置。

進(jìn)一步地，本申請(qǐng)?jiān)诰臋z測(cè)過(guò)程中設(shè)置有第一預(yù)設(shè)位置和第二預(yù)設(shè)位置，當(dāng)滑動(dòng)組件在安裝架上滑動(dòng)，且滑動(dòng)至安裝架上的第一預(yù)設(shè)位置，第二驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂在底座上滑動(dòng)，且滑動(dòng)至底座上的第二預(yù)設(shè)位置時(shí)，檢測(cè)器能夠與晶片的位置對(duì)應(yīng)。之后，再通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂移動(dòng)，以使檢測(cè)器與晶片產(chǎn)生接觸，從而對(duì)晶片進(jìn)行檢測(cè)。在檢測(cè)之后，可根據(jù)檢測(cè)器的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析計(jì)算，從而獲取到晶片的性能數(shù)據(jù)。整個(gè)檢測(cè)過(guò)程自動(dòng)化程度高，且可以保證檢測(cè)器能夠與晶片進(jìn)行充分接觸，提高了檢測(cè)數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。

因此，本實(shí)用新型提出的檢測(cè)機(jī)構(gòu)，通過(guò)第一驅(qū)動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)第一機(jī)械臂移動(dòng)，第二驅(qū)動(dòng)器來(lái)驅(qū)動(dòng)第二機(jī)械臂滑動(dòng)，滑動(dòng)組件帶動(dòng)第一機(jī)械臂滑動(dòng)，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)器和晶片位置的自動(dòng)調(diào)整，提升了檢測(cè)的自動(dòng)化程度，提升了工作效率，還可以保證獲取到的晶片性能數(shù)據(jù)準(zhǔn)確度高。

另外，本實(shí)用新型提供的上述實(shí)施例中的檢測(cè)機(jī)構(gòu)還可以具有如下附加技術(shù)特征：

在上述技術(shù)方案中，滑動(dòng)組件包括：滑塊，與安裝架滑動(dòng)連接，第一機(jī)械臂設(shè)置于滑塊上；滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，與滑塊相連接，用于驅(qū)動(dòng)滑塊沿安裝架滑動(dòng)。

在該技術(shù)方案中，滑動(dòng)組件包括滑塊和滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，其中，滑塊與安裝架滑動(dòng)連接。滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)器與滑塊相連接，滑動(dòng)驅(qū)動(dòng)器用于驅(qū)動(dòng)滑塊沿安裝架滑動(dòng)，從而使得設(shè)置在滑塊上的第一機(jī)械臂的位置也隨之改變，使得第一機(jī)械臂能夠到達(dá)安裝架上的第一預(yù)設(shè)位置，以使得檢測(cè)器與晶片的位置對(duì)應(yīng)上，實(shí)現(xiàn)了檢測(cè)器位置的自動(dòng)調(diào)整提升了檢測(cè)的自動(dòng)化程度。

在上述任一技術(shù)方案中，安裝架包括：立柱，設(shè)置于底座；梁體，設(shè)置于立柱，滑塊與梁體滑動(dòng)連接。