[實用新型]檢測機構有效
| 申請號: | 202221160476.8 | 申請日: | 2022-05-16 |
| 公開(公告)號: | CN217521323U | 公開(公告)日: | 2022-09-30 |
| 發明(設計)人: | 李凱;詹超;石佳霖;郭雄偉;王明才 | 申請(專利權)人: | 東晶電子金華有限公司 |
| 主分類號: | G01R31/28 | 分類號: | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/067 |
| 代理公司: | 北京友聯知識產權代理事務所(普通合伙) 11343 | 代理人: | 蔣衛衛;尚志峰 |
| 地址: | 321000 浙江*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 檢測 機構 | ||
1.一種檢測機構,其特征在于,用于檢測晶片,包括:
工作臺,所述工作臺包括底座和與所述底座相連接的安裝架;
滑動組件,與所述安裝架滑動連接;
第一機械臂,設置于所述滑動組件上,所述第一機械臂能夠相對于所述滑動組件移動;
第一驅動器,與所述第一機械臂相連接,用于驅動所述第一機械臂相對于沿所述安裝架移動;
檢測器,設置于所述第一機械臂;
第二機械臂,與所述底座滑動連接,用于承載所述晶片;
第二驅動器,與所述第二機械臂相連接,用于驅動所述第二機械臂沿所述底座滑動;
其中,所述滑動組件滑動至所述安裝架上的第一預設位置,所述第二驅動器驅動所述第二機械臂滑動至所述底座上的第二預設位置時,所述第一驅動器驅動所述第一機械臂移動以使所述檢測器與所述晶片相接觸。
2.根據權利要求1所述的檢測機構,其特征在于,所述滑動組件包括:
滑塊,與所述安裝架滑動連接,所述第一機械臂設置于所述滑塊上;
滑動驅動器,與所述滑塊相連接,用于驅動所述滑塊沿所述安裝架滑動。
3.根據權利要求2所述的檢測機構,其特征在于,所述安裝架包括:
立柱,設置于所述底座;
梁體,設置于所述立柱,所述滑塊與所述梁體滑動連接。
4.根據權利要求1所述的檢測機構,其特征在于,還包括:
滾輪,設置于所述滑動組件上,所述第一驅動器與所述滾輪相連接,用于驅動所述滾輪轉動;
傳動桿,與所述滾輪相連接,位于所述滾輪和所述第一機械臂之間;
其中,所述傳動桿能夠隨所述滾輪同步轉動,以帶動所述第一機械臂相對于所述滑動組件移動。
5.根據權利要求1所述的檢測機構,其特征在于,所述底座包括:
基板;
滑軌,設置于所述基板,所述第二機械臂與所述滑軌滑動連接。
6.根據權利要求3所述的檢測機構,其特征在于,還包括:
承載盤,可拆卸地安裝于所述第二機械臂,所述晶片放置于所述承載盤上。
7.根據權利要求2所述的檢測機構,其特征在于,還包括:
控制器,與所述第一驅動器、第二驅動器和所述滑動驅動器電連接,用于控制所述第一驅動器、第二驅動器和所述滑動驅動器工作。
8.根據權利要求7所述的檢測機構,其特征在于,還包括:
提示器,與所述控制器電連接,用于提示所述控制器的工作狀態。
9.根據權利要求1至8中任一項所述的檢測機構,其特征在于,所述檢測器包括:
檢測頭,設置于所述第一機械臂;
探針,設置于所述檢測頭,用于檢測所述晶片。
10.根據權利要求9所述的檢測機構,其特征在于,
所述探針的數量至少為兩個,至少兩個所述探針間隔設置于所述檢測頭。
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