[實(shí)用新型]物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221096202.7
• 申請(qǐng)日: 2022-05-09
• 公開（公告）號(hào): CN217571328U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 谷朝臣;程昊;秦萬(wàn)國(guó)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 嘉興譜鑒精密儀器有限公司
• 主分類號(hào): B23K26/362
• 分類號(hào): B23K26/362;B23K26/064;B23K26/082
• 代理公司: 上海鍛創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31448
• 代理人: 韓冰

本實(shí)用新型涉及激光刻蝕技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)的一種物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，包括激光器、振鏡、場(chǎng)鏡、第一管鏡、第一分光模塊、物鏡以及打標(biāo)樣本；激光器的光路出口與振鏡的光路入口同軸相對(duì)，振鏡的光路出口與場(chǎng)鏡的光路入口同軸相對(duì)，場(chǎng)鏡與第一管鏡共焦安裝，第一管鏡的光路出口與物鏡的光路入口同軸相對(duì)，第一分光模塊置于第一管鏡與物鏡之間，第一分光模塊用于使激光光束透過，物鏡用于將平行的光束聚焦為激光打標(biāo)焦點(diǎn)，激光打標(biāo)焦點(diǎn)照射在打標(biāo)樣本上進(jìn)行蝕刻。本實(shí)用新型通過振鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)即可實(shí)現(xiàn)打標(biāo)點(diǎn)在物鏡視野內(nèi)的移動(dòng)，從而完成一個(gè)物鏡視野內(nèi)的圖案蝕刻，改變了傳統(tǒng)縮微打標(biāo)通過樣本的方式進(jìn)行掃描打標(biāo)，提高了縮微打標(biāo)作業(yè)的效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及激光刻蝕技術(shù)領(lǐng)域，具體地，涉及一種物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置。

背景技術(shù)

通過顯微物鏡進(jìn)行縮微打標(biāo)，在鉆石、酒水等高價(jià)值產(chǎn)品防偽、玻璃信息存儲(chǔ)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景。

經(jīng)過檢索，目前縮微打標(biāo)的主要方式是通過位移臺(tái)實(shí)現(xiàn)刻蝕點(diǎn)在樣本XY平面的變化，如公開號(hào)為CN1058740A公開的紫外激光縮微打標(biāo)機(jī)，采用非線性光學(xué)晶體BBO倍頻技術(shù)，使YAG固體激光器產(chǎn)生濾長(zhǎng)為0.266μm的紫外激光，YAG固體激光器由于體積小，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作維護(hù)方便，壽命長(zhǎng)，給使用者帶來(lái)諸多好處，短波長(zhǎng)降低了衍射效應(yīng)，可以實(shí)現(xiàn)微型打標(biāo)和亞微米加工。但該專利技術(shù)的問題在于位移臺(tái)移動(dòng)速度慢，制約打標(biāo)速度；位移臺(tái)大尺寸定位精度差，制約打標(biāo)精度。

實(shí)用新型內(nèi)容

針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提供一種單物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置及其方法。

根據(jù)本實(shí)用新型提供的一種物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，包括激光器、振鏡、場(chǎng)鏡、第一管鏡、第一分光模塊、物鏡以及打標(biāo)樣本；

所述激光器的光路出口與所述振鏡的光路入口同軸相對(duì)，所述振鏡的光路出口與所述場(chǎng)鏡的光路入口同軸相對(duì)，所述場(chǎng)鏡與所述第一管鏡共焦安裝，所述第一管鏡的光路出口與所述物鏡的光路入口同軸相對(duì)，所述第一分光模塊置于所述第一管鏡與所述物鏡之間，所述第一分光模塊用于使激光光束透過而反射其他光束，所述物鏡用于將平行的光束聚焦為激光打標(biāo)焦點(diǎn)，激光打標(biāo)焦點(diǎn)照射在所述打標(biāo)樣本上進(jìn)行蝕刻；

通過控制所述振鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)角度使所述聚焦光斑在所述物鏡視野范圍大小相對(duì)應(yīng)的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高速移動(dòng)，進(jìn)而通過調(diào)控所述振鏡的轉(zhuǎn)動(dòng)角度完成單個(gè)物鏡視野下的圖案蝕刻。

一些實(shí)施方式中，所述場(chǎng)鏡為遠(yuǎn)心場(chǎng)鏡。

一些實(shí)施方式中，所述第一管鏡為像方遠(yuǎn)心無(wú)限遠(yuǎn)成像光路。

一些實(shí)施方式中，所述物鏡為無(wú)限遠(yuǎn)物鏡。

一些實(shí)施方式中，還包括位移臺(tái)，所述打標(biāo)樣本置于所述位移臺(tái)上，于所述打標(biāo)樣本上完成一個(gè)所述物鏡視野內(nèi)的圖案打標(biāo)作業(yè)后通過所述位移臺(tái)移動(dòng)至預(yù)設(shè)位。

一些實(shí)施方式中，還包括成像組件，所述成像組件包括透射照明光路、第二分光模塊、第二管鏡和相機(jī)；

所述透射照明光路置于所述打標(biāo)樣本下方，所述第二分光模塊、所述第二管鏡以及所述相機(jī)位于所述第一分光模塊的一側(cè)，所述第二分光模塊用于反射激光光束，所述打標(biāo)樣本為透光材料；

所述透射照明光路發(fā)出的成像光束依次經(jīng)所述物鏡、所述第一分光模塊、所述第二分光模塊以及所述第二管鏡后被所述相機(jī)采集成像。

一些實(shí)施方式中，還包括落射照明光路，所述落射照明光路位于所述第二分光模塊一側(cè)，所述打標(biāo)樣本為非透光材質(zhì)；

所述落射照明光路發(fā)出的成像光束依次經(jīng)所述第二分光模塊、所述第一分光模塊、所述物鏡后照射在所述打標(biāo)樣本上，經(jīng)所述打標(biāo)樣本的反射使得成像光束依次經(jīng)所述物鏡、所述第一分光模塊、所述第二分光模塊、所述第二管鏡后被所述相機(jī)采集成像。