[實(shí)用新型]物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202221096202.7
• 申請日: 2022-05-09
• 公開（公告）號: CN217571328U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 谷朝臣;程昊;秦萬國
• 申請（專利權(quán)）人: 嘉興譜鑒精密儀器有限公司
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/064;B23K26/082
• 代理公司: 上海鍛創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31448
• 代理人: 韓冰

1.一種物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，包括激光器(1)、振鏡(2)、場鏡(3)、第一管鏡(4)、第一分光模塊(6)、物鏡(7)以及打標(biāo)樣本(8)；

所述激光器(1)的光路出口與所述振鏡(2)的光路入口同軸相對，所述振鏡(2)的光路出口與所述場鏡(3)的光路入口同軸相對，所述場鏡(3)與所述第一管鏡(4)共焦安裝，所述第一管鏡(4)的光路出口與所述物鏡(7)的光路入口同軸相對，所述第一分光模塊(6)置于所述第一管鏡(4)與所述物鏡(7)之間，所述第一分光模塊(6)用于使激光光束透過而反射其他光束，所述物鏡(7)用于將平行的光束聚焦為激光打標(biāo)焦點(diǎn)，激光打標(biāo)焦點(diǎn)照射在所述打標(biāo)樣本(8)上進(jìn)行蝕刻；

通過控制所述振鏡(2)的轉(zhuǎn)動角度使所述激光打標(biāo)焦點(diǎn)在所述物鏡(7)視野范圍大小相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高速移動，進(jìn)而通過調(diào)控所述振鏡(2)的轉(zhuǎn)動角度完成單個(gè)物鏡視野下的圖案蝕刻。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，所述場鏡(3)為遠(yuǎn)心場鏡。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，所述第一管鏡(4)為像方遠(yuǎn)心無限遠(yuǎn)成像光路。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，所述物鏡(7)為無限遠(yuǎn)物鏡。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，還包括位移臺(9)，所述打標(biāo)樣本(8)置于所述位移臺(9)上，于所述打標(biāo)樣本(8)上完成一個(gè)所述物鏡(7)視野內(nèi)的圖案打標(biāo)作業(yè)后通過所述位移臺(9)移動至預(yù)設(shè)位。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，還包括成像組件(10)，所述成像組件(10)包括透射照明光路(101)、第二分光模塊(102)、第二管鏡(103)和相機(jī)(104)；

所述透射照明光路(101)置于所述打標(biāo)樣本(8)下方，所述第二分光模塊(102)、所述第二管鏡(103)以及所述相機(jī)(104)位于所述第一分光模塊(6)的一側(cè)，所述第二分光模塊(102)用于反射激光光束，所述打標(biāo)樣本(8)為透光材料；

所述透射照明光路(101)發(fā)出的成像光束依次經(jīng)所述物鏡(7)、所述第一分光模塊(6)、所述第二分光模塊(102)以及所述第二管鏡(103)后被所述相機(jī)(104)采集成像。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，還包括落射照明光路(105)，所述落射照明光路(105)位于所述第二分光模塊(102)一側(cè)，所述打標(biāo)樣本(8)為非透光材質(zhì)；

所述落射照明光路(105)發(fā)出的成像光束依次經(jīng)所述第二分光模塊(102)、所述第一分光模塊(6)、所述物鏡(7)后照射在所述打標(biāo)樣本(8)上，經(jīng)所述打標(biāo)樣本(8)的反射使得成像光束依次經(jīng)所述物鏡(7)、所述第一分光模塊(6)、所述第二分光模塊(102)、所述第二管鏡(103)后被所述相機(jī)(104)采集成像。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的物鏡視野內(nèi)高速縮微打標(biāo)裝置，其特征在于，通過所述激光器(1)發(fā)出激光束，激光束自所述振鏡(2)的光路入口進(jìn)入，所述振鏡(2)使所述激光束產(chǎn)生二維掃描偏轉(zhuǎn)角度α和β；

所述第一管鏡(4)采用與所述場鏡(3)共焦的方式安裝，所述第一管鏡(4)與所述場鏡(3)具有共同的共焦面(5)，二維掃描偏轉(zhuǎn)角度α和β的激光束自所述場鏡(3)的光路進(jìn)口進(jìn)入后形成聚焦光斑，所述聚焦光斑位于所述共焦面(5)上，所述聚焦光斑經(jīng)所述第一管鏡(4)被掃描成平行光束；

自所述第一管鏡(4)的光路出口射出的平行光束經(jīng)所述第一分光模塊(6)過濾后，平行光束中的激光光束透過所述第一分光模塊(6)進(jìn)入所述物鏡(7)內(nèi)，經(jīng)所述物鏡(7)將平行的激光光束聚焦形成激光打標(biāo)焦點(diǎn)，所述激光打標(biāo)焦點(diǎn)照射在所述打標(biāo)樣本(8)上進(jìn)行蝕刻；

通過控制所述振鏡(2)的二維掃描偏轉(zhuǎn)角度α和β使所述聚焦光斑在和所述物鏡(7)視野范圍大小相對應(yīng)的區(qū)域內(nèi)進(jìn)行高速移動，進(jìn)而通過調(diào)控所述振鏡(2)的轉(zhuǎn)動角度完成單個(gè)顯微物鏡視野下的圖案蝕刻。