[實用新型]一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構

有效

• 申請號: 202221057953.8
• 申請日: 2022-05-06
• 公開（公告）號: CN217579050U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 王健平;馮地偉;陳偉
• 申請（專利權）人: 成都光冠嘉富科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 成都熠邦鼎立專利代理有限公司 51263
• 代理人: 邢哲

本實用新型公開了一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，具體涉及真空鍍膜領域，包括箱體，所述箱體的上方安裝有真空抽氣泵，所述真空抽氣泵的右側插設有延伸至箱體內部的真空管，所述箱體的左右兩側靠近上方處均設有高脈沖磁控濺射靶，所述箱體的左右兩側靠近下方處均設有復合磁性離子發生器，且兩個所述高脈沖磁控濺射靶和兩個復合磁性離子發生器的內端均貫穿箱體，并延伸至箱體的內部；本實用新型利用設置的固定圈、齒圈、齒輪、電機、豎桿和基片臺這些部件之間的相互配合使用，可實現基片臺進行旋轉的效果，同時基片臺在齒圈上均勻設置，使得基片臺在轉動時，使基片臺上的模具的鍍膜相對均勻完整，增加了裝置的鍍膜質量。

技術領域

本實用新型涉及真空鍍膜技術領域，具體為一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構。

背景技術

隨著科學技術的飛速發展，工模具涂層的技術已經得到普遍應用，在鍍制工模具涂層時，涂層的硬度、摩擦系數是非常重要的問題，涂層裝置的硬度低、摩擦系數大，會嚴重影響涂層的特性，涂層的硬度和摩擦系數與材料的離化率和顆粒的細膩程度有關。

1、現有的真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構在使用時，通常對模具的鍍膜效果差，難以均勻的對模具進行鍍膜，從而影響到鍍膜的質量；

2、現有的真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構在使用時，不便于在方便移動的同時，也可以對裝置整體的位置進行固定，裝置整體在使用時會因外力而發生移動，不便于使用，為此我們提出一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構用于解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，包括箱體，所述箱體的上方安裝有真空抽氣泵，所述真空抽氣泵的右側插設有延伸至箱體內部的真空管，所述箱體的左右兩側靠近上方處均設有高脈沖磁控濺射靶，所述箱體的左右兩側靠近下方處均設有復合磁性離子發生器，且兩個所述高脈沖磁控濺射靶和兩個復合磁性離子發生器的內端均貫穿箱體，并延伸至箱體的內部，所述箱體的底部插設有陽極層離子源本體，所述箱體內部的上下兩側均安裝有多個真空加熱器，所述箱體的下方靠近四角處均安裝有支撐腿，四個所述支撐腿的底端均安裝有支撐板，橫向相鄰的支撐板之間設有一個轉軸，兩個所述轉軸的左右兩端均貫穿相鄰的支撐板，并延伸至支撐板的外側，兩個所述轉軸上均套設有兩個左右設置的滾輪，所述箱體的前側通過合頁轉動安裝有門體，所述門體的前側安裝有把手，所述箱體的內部設有旋轉機構，兩個所述轉軸上均設有固定機構。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述旋轉機構包括固定圈，所述箱體的內部設有固定圈，所述固定圈的左右兩側均安裝有安裝桿，且兩個所述安裝桿的外端均安裝在箱體的內壁上，所述固定圈的內部設有齒圈，所述齒圈的內部靠近下方處嚙合有齒輪，所述箱體的后側安裝有電機，所述電機的輸出端貫穿箱體，并延伸至齒圈的內部與齒輪之間相連接。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述齒圈的前側通過活動軸轉動安裝有多個均勻設置的豎桿，且多個所述豎桿的前側均安裝有基片臺。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述齒圈的上下兩側均安裝有第一滑塊，所述固定圈的內側開設有圓形滑槽，且兩個所述第一滑塊均滑動安裝在圓形滑槽的內部。

作為本實用新型的一種優選技術方案，所述固定機構包括圓板，所述轉軸的左右兩端均安裝有圓板，兩個所述圓板的邊緣處均開設有多個開槽，兩個所述圓板的上方均設有第一L形桿，兩個所述第一L形桿的內端均安裝有第二滑塊，相應的兩個所述支撐腿上均開設有與第二滑塊相適配的滑槽，且兩個所述第二滑塊均滑動安裝在相鄰的滑槽內部，兩個所述第一L形桿的外側均安裝有拉環。

作為本實用新型的一種優選技術方案，兩個所述第二滑塊的上方均安裝有彈簧，且兩個所述彈簧遠離第二滑塊的一端均安裝在相鄰的滑槽內壁上。