[實用新型]一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構

有效

• 申請號: 202221057953.8
• 申請日: 2022-05-06
• 公開（公告）號: CN217579050U
• 公開（公告）日: 2022-10-14
• 發明（設計）人: 王健平;馮地偉;陳偉
• 申請（專利權）人: 成都光冠嘉富科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 成都熠邦鼎立專利代理有限公司 51263
• 代理人: 邢哲

1.一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，包括箱體（1），所述箱體（1）的上方安裝有真空抽氣泵（5），所述真空抽氣泵（5）的右側插設有延伸至箱體（1）內部的真空管（6），所述箱體（1）的左右兩側靠近上方處均設有高脈沖磁控濺射靶（7），所述箱體（1）的左右兩側靠近下方處均設有復合磁性離子發生器（8），且兩個所述高脈沖磁控濺射靶（7）和兩個復合磁性離子發生器（8）的內端均貫穿箱體（1），并延伸至箱體（1）的內部，所述箱體（1）的底部插設有陽極層離子源本體（9），所述箱體（1）內部的上下兩側均安裝有多個真空加熱器（10），其特征在于：所述箱體（1）的下方靠近四角處均安裝有支撐腿（2），四個所述支撐腿（2）的底端均安裝有支撐板（3），橫向相鄰的支撐板（3）之間設有一個轉軸，兩個所述轉軸的左右兩端均貫穿相鄰的支撐板（3），并延伸至支撐板（3）的外側，兩個所述轉軸上均套設有兩個左右設置的滾輪（4），所述箱體（1）的前側通過合頁轉動安裝有門體，所述門體的前側安裝有把手，所述箱體（1）的內部設有旋轉機構，兩個所述轉軸上均設有固定機構。

2.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：所述旋轉機構包括固定圈（11），所述箱體（1）的內部設有固定圈（11），所述固定圈（11）的左右兩側均安裝有安裝桿（12），且兩個所述安裝桿（12）的外端均安裝在箱體（1）的內壁上，所述固定圈（11）的內部設有齒圈（13），所述齒圈（13）的內部靠近下方處嚙合有齒輪（15），所述箱體（1）的后側安裝有電機（14），所述電機（14）的輸出端貫穿箱體（1），并延伸至齒圈（13）的內部與齒輪（15）之間相連接。

3.根據權利要求2所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：所述齒圈（13）的前側通過活動軸轉動安裝有多個均勻設置的豎桿（26），且多個所述豎桿（26）的前側均安裝有基片臺（16）。

4.根據權利要求2所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：所述齒圈（13）的上下兩側均安裝有第一滑塊（17），所述固定圈（11）的內側開設有圓形滑槽，且兩個所述第一滑塊（17）均滑動安裝在圓形滑槽的內部。

5.根據權利要求1所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：所述固定機構包括圓板（18），所述轉軸的左右兩端均安裝有圓板（18），兩個所述圓板（18）的邊緣處均開設有多個開槽，兩個所述圓板（18）的上方均設有第一L形桿（19），兩個所述第一L形桿（19）的內端均安裝有第二滑塊（20），相應的兩個所述支撐腿（2）上均開設有與第二滑塊（20）相適配的滑槽，且兩個所述第二滑塊（20）均滑動安裝在相鄰的滑槽內部，兩個所述第一L形桿（19）的外側均安裝有拉環。

6.根據權利要求5所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：兩個所述第二滑塊（20）的上方均安裝有彈簧（21），且兩個所述彈簧（21）遠離第二滑塊（20）的一端均安裝在相鄰的滑槽內壁上。

7.根據權利要求5所述的一種真空鍍膜的高脈沖工模具涂層裝置結構，其特征在于：兩個所述第一L形桿（19）的上方均設有橫板（22），兩個所述橫板（22）均安裝在相鄰的支撐腿（2）上，兩個所述橫板（22）的上方均貼合有撥塊（23），兩個所述撥塊（23）的下方均安裝有第二L形桿（24），兩個所述第一L形桿（19）的上方均安裝有固定槽（25），兩個所述第二L形桿（24）遠離撥塊（23）的一端均延伸至相鄰的固定槽（25）內部。