[實用新型]一種具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置

有效

• 申請號: 202221033454.5
• 申請日: 2022-04-29
• 公開（公告）號: CN217142761U
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發明（設計）人: 孫大海;錢少杰
• 申請（專利權）人: 蘇州海杰興科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/70
• 代理公司: 蘇州三英知識產權代理有限公司 32412
• 代理人: 潘時偉

本實用新型公開了一種具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置，涉及SiC晶圓片切割技術領域。所述具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置包括底座；防護機構，其與底座連接；以及可調節式切割機構，安裝于防護機構內側。所述防護機構包括防護罩，所述底座上部固定連接有防護罩，所述防護罩和底座的一側固定焊接有滑槽座，所述滑槽座內側滑動連接有移動式門板，所述移動式門板上端連接有橡膠條。本實用新型提供的具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置具有防護性好、安全性高的優點。

技術領域

本實用新型是關于SiC晶圓片切割技術領域，特別是關于一種具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置。

背景技術

SiC晶圓片，是先將二氧化矽經過純化，融解，蒸餾之后，制成矽晶棒，晶圓廠再拿這些矽晶棒研磨，拋光和切片成為晶圓母片；由于圓形的晶圓片本身沒有方向性，不適合電子的傳輸，因此這些晶圓還必須切出一個邊，當做類似三角形的“底”，所以晶圓長得并不像家里的DVD是標準的圓，而是被切掉一個邊，成為有“底”的圓，隨著科技的發展，SiC晶圓片在加工時，大多采用專用的激光切割裝置進行切割處理。

現有的SiC晶圓片激光切割裝置，在使用時，切割部分裸露在外，工作時的防護性差。

公開于該背景技術部分的信息僅僅旨在增加對本實用新型的總體背景的理解，而不應當被視為承認或以任何形式暗示該信息構成已為本領域一般技術人員所公知的現有技術。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置，其能夠對切割機構進行防護，提高工作時的安全性。

為實現上述目的，本實用新型提供了具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置包括：底座；防護機構，所述防護機構與底座連接；可調節式切割機構，所述可調節式切割機構安裝于防護機構內側。所述防護機構包括防護罩，所述底座上部固定連接有防護罩，所述防護罩和底座的一側固定焊接有滑槽座，所述滑槽座內側滑動連接有移動式門板，所述移動式門板上端連接有橡膠條。

在一個或多個實施方式中，所述防護機構還包括升降組件，所述升降組件包括連接板，所述移動式門板下端連接有連接板，所述連接板一側安裝有驅動馬達，所述驅動馬達輸出端連接有齒輪，且齒輪位于連接板另一側，所述底座內側固定連接有齒條，且齒條與齒輪相互嚙合。

在一個或多個實施方式中，所述防護機構還包括耐高溫玻璃板，所述移動式門板中部設置有耐高溫玻璃板，所述耐高溫玻璃板表面設置有玻璃涂層。

在一個或多個實施方式中，所述可調節式切割機構包括縱向導軌，所述防護罩內側中部對正設置有兩個縱向導軌，所述縱向導軌外側滑動連接有橫向導軌，且橫向導軌兩端均設置有縱向驅動器，所述縱向驅動器與縱向導軌緊密貼合，所述橫向導軌上部設置有橫向驅動器，且橫向導軌外側通過橫向驅動器滑動連接有機頭，所述機頭下部安裝有伸縮桿，所述伸縮桿底部連接有連接座，且連接座底部安裝有激光切割頭。

在一個或多個實施方式中，所述可調節式切割機構還包括螺紋座和防護套，所述連接座底部一體成型有螺紋座，所述螺紋座外側螺紋連接有防護套，所述防護套位于激光切割頭外側。

在一個或多個實施方式中，所述可調節式切割機構還包括LED燈，所述連接座底部安裝有多個LED燈，所述LED燈呈環形矩陣式結構分布。

在一個或多個實施方式中，所述防護罩上部固定連接有散熱管道，所述散熱管道內側安裝有排氣風扇。

在一個或多個實施方式中，所述底座位于防護罩一側的上部通過支架安裝有SiC晶圓片放置臺，所述SiC晶圓片放置臺的四周與底座內壁之間留有空隙。

在一個或多個實施方式中，所述底座中部固定焊接有連接架，所述連接架中部安裝有冷卻風扇，且冷卻風扇位于SiC晶圓片放置臺正下方。

與現有技術相比，根據本實用新型的具有防護結構的SiC晶圓激光切割裝置