[實(shí)用新型]微機(jī)電結(jié)構(gòu)、麥克風(fēng)和終端

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202221029013.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN217363307U
• 公開（公告）日: 2022-09-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉青;榮根蘭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司
• 主分類號(hào): H04R7/12
• 分類號(hào): H04R7/12;H04R19/04
• 代理公司: 北京成創(chuàng)同維知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;張靖琳

1.一種微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：

第一振膜；

第一背板，與所述第一振膜的表面相對(duì)；以及

多個(gè)通孔，貫穿所述第一背板，

所述第一振膜包括多個(gè)第一凸起部，與所述多個(gè)通孔中的至少部分對(duì)應(yīng)，

所述第一振膜包括活動(dòng)區(qū)，所述活動(dòng)區(qū)包括中心區(qū)與圍繞所述中心區(qū)的邊緣區(qū)；

所述多個(gè)通孔包括多個(gè)第一通孔與多個(gè)第二通孔，所述多個(gè)第一通孔對(duì)應(yīng)所述中心區(qū)，所述多個(gè)第二通孔對(duì)應(yīng)所述邊緣區(qū)，所述多個(gè)第二通孔的尺寸大于所述多個(gè)第一通孔的尺寸。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述中心區(qū)的中心到所述中心區(qū)的邊緣的距離為R1，所述活動(dòng)區(qū)的中心到所述活動(dòng)區(qū)的邊緣的距離為R2，R1與R2的比值小于等于3:4，

所述中心區(qū)與所述活動(dòng)區(qū)的中心重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，沿所述第一振膜的厚度方向，所述第一振膜的至少一截面呈波紋狀，所述多個(gè)第一凸起部的截面為該波紋的波峰或波谷。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，至少一個(gè)所述第一凸起部的頂面與側(cè)面的連接處呈弧形。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括多個(gè)防粘部，位于所述第一背板朝向所述第一振膜的一側(cè)，與所述多個(gè)第一凸起部錯(cuò)開。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括位于所述第一振膜與所述第一背板之間的第二支撐部，

所述第二支撐部與所述第一背板接觸，并與所述第一振膜的非凸起部分接觸，

沿所述第一振膜的厚度方向，所述第一振膜的非凸起部分到所述第一凸起部表面的垂直距離小于所述第二支撐部的厚度。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一振膜的非凸起部分到所述第一凸起部表面的垂直距離為h1，所述第二支撐部的厚度為h2，h1≤0.5h2。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)通孔中的至少部分的尺寸大于對(duì)應(yīng)的所述第一凸起部的尺寸。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述多個(gè)第一凸起部?jī)H位于所述中心區(qū)。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一背板包括第一絕緣層與第一導(dǎo)電層，

所述第一振膜與所述第一導(dǎo)電層分別位于所述第一絕緣層的相對(duì)兩側(cè)，

所述第一導(dǎo)電層的尺寸小于第一絕緣層，且所述第一導(dǎo)電層在所述第一振膜上的正投影落在所述中心區(qū)內(nèi)。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，沿所述第一背板的中心向邊緣的方向，所述多個(gè)第二通孔的尺寸漸變?cè)龃蟆?/p>

12.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括第二背板，與所述第一背板分別位于所述第一振膜的相對(duì)兩側(cè)。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括多個(gè)第三通孔，貫穿所述第二背板，

所述多個(gè)第一凸起部與所述多個(gè)第三通孔相互錯(cuò)開。

14.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括第二振膜，與所述第一振膜分別位于所述第一背板的相對(duì)兩側(cè)。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的微機(jī)電結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第二振膜包括多個(gè)第二凸起部，與所述多個(gè)通孔中的至少部分對(duì)應(yīng)。