[實用新型]一種MEMS結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202220995585.5 | 申請日： | 2022-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN217591084U | 公開（公告）日： | 2022-10-14 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 李冠華;劉端 | 申請（專利權(quán)）人： | 安徽奧飛聲學(xué)科技有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/04 | 分類號： | H04R19/04;H04R17/02;H04R31/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 230092 安徽省合肥市高新區(qū)習(xí)友路333*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 mems 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種MEMS結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括：
襯底，具有空腔；
振動支撐層，形成在所述襯底上方并且覆蓋所述空腔；
第一電極層，形成在所述振動支撐層下方，并且位于所述空腔內(nèi)；
壓電層，形成在所述振動支撐層上方；
第二電極層，形成在所述壓電層上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述第一電極層的區(qū)域面積小于所述空腔的區(qū)域面積。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MEMS結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述壓電層、所述第二電極層的區(qū)域面積小于所述空腔的區(qū)域面積。
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