[實(shí)用新型]源瓶冷卻設(shè)備及源瓶冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220986453.6
• 申請(qǐng)日: 2022-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN217083048U
• 公開（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘笑星;王立江;李偉;王慶云
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): F25D17/02
• 分類號(hào): F25D17/02;F25D23/06;F25D29/00
• 代理公司: 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

本申請(qǐng)實(shí)施例提供的源瓶冷卻設(shè)備及源瓶冷卻系統(tǒng)，涉及擴(kuò)散氣體源溫控技術(shù)領(lǐng)域。可以將源瓶放置在源瓶冷卻設(shè)備的箱體內(nèi)，并通過位于箱體內(nèi)的冷卻管中流動(dòng)的冷卻液對(duì)源瓶進(jìn)行降溫，如此，可以無需購買價(jià)格高昂的電子源溫控制器進(jìn)行源瓶控溫，可以節(jié)省生產(chǎn)成本。同時(shí)上述結(jié)構(gòu)主要為機(jī)械結(jié)構(gòu)便于在出現(xiàn)故障時(shí)拆卸維護(hù)，可減低設(shè)備因維護(hù)困難導(dǎo)致的故障率，確保源瓶使用的穩(wěn)定性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型實(shí)施例涉及半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝中的擴(kuò)散氣體源溫控技術(shù)領(lǐng)域，具體而言，涉及一種源瓶冷卻設(shè)備及源瓶冷卻系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝中，臥式擴(kuò)散爐需使用氣體(比如，三氯乙烯)進(jìn)行管道干洗，目前對(duì)于氣體源瓶控溫均使用電子源溫控制器，電子源溫控制器控溫精度高，但長(zhǎng)期使用后，內(nèi)部電子器件易老化和出現(xiàn)控溫不穩(wěn)、無法控溫和各種報(bào)警等故障，電子源溫控制器采購資金昂貴，檢查維修困難，大大增加設(shè)備故障率，嚴(yán)重影響設(shè)備使用穩(wěn)定性。

實(shí)用新型內(nèi)容

為了克服上述技術(shù)背景中所提及的技術(shù)問題，本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種源瓶冷卻設(shè)備及源瓶冷卻系統(tǒng)。

本申請(qǐng)的第一方面，提供一種源瓶冷卻設(shè)備，所述源瓶冷卻設(shè)備包括用于容納源瓶的箱體，所述箱體包括箱底和箱頂，所述箱頂設(shè)置有供所述源瓶進(jìn)出的開口；

所述箱體還包括兩層箱殼以及位于所述兩層箱殼之間的冷卻管路，所述冷卻管路沿著所述箱體的側(cè)壁方向螺旋纏繞，以通過流經(jīng)所述冷卻管路中的冷卻液對(duì)容納在所述源瓶冷卻設(shè)備中的源瓶進(jìn)行降溫。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述箱體還包括沿所述箱底朝向所述箱頂方向開設(shè)的源瓶容量觀測(cè)窗口；

所述源瓶容量觀測(cè)窗口由開設(shè)在所述箱底朝向所述箱頂方向的開孔以及嵌設(shè)在所述開孔中的透明隔熱擋板組成。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括儀表安裝區(qū)，所述儀表安裝區(qū)固定在所述箱體上；

所述源瓶冷卻設(shè)備還包括溫度顯示儀表以及測(cè)溫?zé)崤迹鰷囟蕊@示儀表安裝在所述儀表安裝區(qū)，所述溫度顯示儀表與所述測(cè)溫?zé)崤歼B接，所述測(cè)溫?zé)崤加糜跍y(cè)量所述源瓶的內(nèi)部溫度。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括流量調(diào)節(jié)閥；

所述冷卻管路還包括位于所述箱體外的進(jìn)水接頭與出水接頭，其中，所述進(jìn)水接頭距所述箱底的高度大于所述出水接頭距所述箱底的高度；

所述流量調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述進(jìn)水接頭位置處，所述流量調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)所述冷卻管路中冷卻液的流速。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括用于調(diào)平所述箱體的多個(gè)地腳；

所述多個(gè)地腳設(shè)置在所述箱底，所述多個(gè)地腳不同線且所述多個(gè)地腳圍合成圖案的幾何中心與所述箱底的幾何中心重合。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述箱體采用不銹鋼制作而成；

所述冷卻管路為銅管，所述冷卻管路的孔徑為1/8～5/8英寸。

本申請(qǐng)的第二方面，提供一種源瓶冷卻系統(tǒng)，所述源瓶冷卻系統(tǒng)包括源瓶冷卻設(shè)備及源瓶；

所述源瓶冷卻設(shè)備包括箱體，所述箱體包括箱底和箱頂，所述箱頂設(shè)置有開口；

所述箱體還包括兩層箱殼以及位于所述兩層箱殼之間的冷卻管路，所述冷卻管路沿著所述箱體的側(cè)壁方向螺旋纏繞；

所述源瓶通過所述開口放置并容納在所述箱體內(nèi)，或通過所述開口從所述箱體內(nèi)取出，所述源瓶冷卻設(shè)備通過流經(jīng)所述冷卻管路中的冷卻液對(duì)容納在所述源瓶冷卻設(shè)備中的源瓶進(jìn)行降溫。

在本申請(qǐng)的一種可能實(shí)施例中，所述源瓶為三氯乙烯源瓶，所述源瓶包括熱偶插孔；