[實(shí)用新型]源瓶冷卻設(shè)備及源瓶冷卻系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220986453.6
• 申請(qǐng)日: 2022-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217083048U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-07-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 潘笑星;王立江;李偉;王慶云
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 吉林華微電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): F25D17/02
• 分類(lèi)號(hào): F25D17/02;F25D23/06;F25D29/00
• 代理公司: 成都極刻智慧知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 51310
• 代理人: 唐維虎

1.一種源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述源瓶冷卻設(shè)備包括用于容納源瓶的箱體，所述箱體包括箱底和箱頂，所述箱頂設(shè)置有供所述源瓶進(jìn)出的開(kāi)口；

所述箱體還包括兩層箱殼以及位于所述兩層箱殼之間的冷卻管路，所述冷卻管路沿著所述箱體的側(cè)壁方向螺旋纏繞，以通過(guò)流經(jīng)所述冷卻管路中的冷卻液對(duì)容納在所述源瓶冷卻設(shè)備中的源瓶進(jìn)行降溫。

2.如權(quán)利要求1所述的源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述箱體還包括沿所述箱底朝向所述箱頂方向開(kāi)設(shè)的源瓶容量觀測(cè)窗口；

所述源瓶容量觀測(cè)窗口由開(kāi)設(shè)在所述箱底朝向所述箱頂方向的開(kāi)孔以及嵌設(shè)在所述開(kāi)孔中的透明隔熱擋板組成。

3.如權(quán)利要求1所述的源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括儀表安裝區(qū)，所述儀表安裝區(qū)位于所述箱體上；

所述源瓶冷卻設(shè)備還包括溫度顯示儀表以及測(cè)溫?zé)崤迹鰷囟蕊@示儀表安裝在所述儀表安裝區(qū)，所述溫度顯示儀表與所述測(cè)溫?zé)崤歼B接，所述測(cè)溫?zé)崤加糜跍y(cè)量所述源瓶的內(nèi)部溫度。

4.如權(quán)利要求1所述的源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括流量調(diào)節(jié)閥；

所述冷卻管路還包括位于所述箱體外的進(jìn)水接頭與出水接頭，其中，所述進(jìn)水接頭距所述箱底的高度大于所述出水接頭距所述箱底的高度；

所述流量調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述進(jìn)水接頭位置處，所述流量調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)所述冷卻管路中冷卻液的流速。

5.如權(quán)利要求1所述的源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述源瓶冷卻設(shè)備還包括用于調(diào)平所述箱體的多個(gè)地腳；

所述多個(gè)地腳設(shè)置在所述箱底，所述多個(gè)地腳不同線且所述多個(gè)地腳圍合成圖案的幾何中心與所述箱底的幾何中心重合。

6.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的源瓶冷卻設(shè)備，其特征在于，所述箱體采用不銹鋼制作而成；

所述冷卻管路為銅管，所述冷卻管路的孔徑為1/8～5/8英寸。

7.一種源瓶冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述源瓶冷卻系統(tǒng)包括源瓶冷卻設(shè)備及源瓶；

所述源瓶冷卻設(shè)備包括箱體，所述箱體包括箱底和箱頂，所述箱頂設(shè)置有開(kāi)口；

所述箱體還包括兩層箱殼以及位于所述兩層箱殼之間的冷卻管路，所述冷卻管路沿著所述箱體的側(cè)壁方向螺旋纏繞；

所述源瓶通過(guò)所述開(kāi)口放置并容納在所述箱體內(nèi)，或通過(guò)所述開(kāi)口從所述箱體內(nèi)取出，所述源瓶冷卻設(shè)備通過(guò)流經(jīng)所述冷卻管路中的冷卻液對(duì)容納在所述源瓶冷卻設(shè)備中的源瓶進(jìn)行降溫。

8.如權(quán)利要求7所述的源瓶冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述源瓶為三氯乙烯源瓶，所述源瓶包括熱偶插孔；

所述源瓶冷卻設(shè)備還包括儀表安裝區(qū)，所述儀表安裝區(qū)固定在所述箱體上；

所述源瓶冷卻設(shè)備還包括溫度顯示儀表以及測(cè)溫?zé)崤迹鰷囟蕊@示儀表安裝在所述儀表安裝區(qū)，所述溫度顯示儀表與所述測(cè)溫?zé)崤歼B接，所述測(cè)溫?zé)崤疾迦胨鰺崤疾蹇子糜跍y(cè)量所述源瓶中三氯乙烯的溫度。

9.如權(quán)利要求8所述的源瓶冷卻系統(tǒng)，其特征在于，

所述冷卻管路還包括位于所述箱體外的進(jìn)水接頭與出水接頭，其中，所述進(jìn)水接頭距所述箱底的高度大于所述出水接頭距所述箱底的高度；

所述源瓶冷卻設(shè)備還包括流量調(diào)節(jié)閥，所述流量調(diào)節(jié)閥設(shè)置在所述進(jìn)水接頭位置處；

所述源瓶冷卻系統(tǒng)還包括控制單元，所述控制單元分別與所述溫度顯示儀表及所述流量調(diào)節(jié)閥連接，所述控制單元根據(jù)所述溫度顯示儀表中顯示的溫度控制所述流量調(diào)節(jié)閥調(diào)節(jié)所述冷卻管路中冷卻液的流速。

10.如權(quán)利要求8所述的源瓶冷卻系統(tǒng)，其特征在于，所述箱體采用不銹鋼制作而成；

所述冷卻管路為銅管，所述冷卻管路的孔徑為1/8～5/8英寸。