[實用新型]一種真空夾緊機構及外延裝置

有效

• 申請號: 202220983378.8
• 申請日: 2022-04-26
• 公開（公告）號: CN217438297U
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發明（設計）人: 盧勇;蒲勇;趙鵬
• 申請（專利權）人: 芯三代半導體科技（蘇州）有限公司
• 主分類號: C23C16/458
• 分類號: C23C16/458;C30B25/12
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345
• 代理人: 唐學青

1.一種真空夾緊機構，其特征在于，包括：

基板；

驅動部，其連接于所述基板，所述驅動部具有伸縮的輸出端；

第一導軌，其固定于所述基板；

滑塊，其滑動連接于所述第一導軌，所述滑塊連接于所述驅動部的輸出端；

第二導軌，其固定于所述基板；

夾爪，其包括第一夾爪及第二夾爪，其底部分別設有導塊，所述導塊滑動連接于所述第二導軌；

連桿，其包括第一連桿及第二連桿，第一連桿的一側連接第一夾爪，第一連桿的另一側連接滑塊，第二連桿的一側連接第二夾爪，第二連桿的另一側連接滑塊；

基于驅動部推動所述滑塊移動，所述滑塊移動帶動連桿轉動，使得與第一連桿連接的第一夾爪以及與第二連桿連接的第二夾爪沿第二導軌同步滑動，以打開或閉合。

2.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，

所述驅動部為氣缸，所述氣缸輸出端連接滑塊，所述輸出端上套設有波紋管。

3.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，

第一夾爪及第二夾爪配置成沿輸出端的軸線對稱。

4.如權利要求3所述的真空夾緊機構，其特征在于，

第一夾爪與第二夾爪平行設置。

5.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，

第一連桿及第二連桿配置成沿輸出端的軸線對稱，且其組合呈倒喇叭形。

6.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，

所述夾爪夾緊側有弧形凹槽，用于夾持圓盤形的半導體基片。

7.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，所述第一導軌與所述第二導軌互相垂直，使所述夾爪在垂直于所述第一導軌的方向上平滑移動。

8.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，還包括：

間隙調整塊，其活動連接于所述基板上，且介于

所述驅動部與所述滑塊之間，所述間隙調整塊用以調整所述滑塊的行程。

9.如權利要求1所述的真空夾緊機構，其特征在于，所述滑塊通過銷釘及限位孔與所述連桿活動連接，通過調整所述連桿端部與所述滑塊中軸的距離。

10.一種外延裝置，其匹配有如權利要求1-9中任一項所述的真空夾緊機構。