[實用新型]運動機構的測量裝置及測量系統

有效

• 申請號: 202220953307.3
• 申請日: 2022-04-21
• 公開（公告）號: CN218443850U
• 公開（公告）日: 2023-02-03
• 發明（設計）人: 杜聰聰;劉浩江;賀雅潔;陳偉;趙彬;盧圣睿;朱學謙
• 申請（專利權）人: 華為技術有限公司
• 主分類號: G01C1/00
• 分類號: G01C1/00;G01S17/08;G01D21/02
• 代理公司: 深圳市深佳知識產權代理事務所(普通合伙) 44285
• 代理人: 王曙聘

本申請實施例公開了運動機構的測量裝置及測量系統，特別適用于運動精度達到微米級的微型運動機構的性能測試；該測量裝置包括測量模塊，該測量模塊包括基座、運動載臺和測量部件；運動載臺和測量部件均安裝在基座的內腔；運動載臺用于承載待測運動機構，運動載臺可帶動待測運動機構動作以使待測運動機構的待測面處在測量部件的測量范圍內；測量部件可沿第一方向移動以靠近或遠離運動載臺。通過設置集成為一體結構的測量模塊，實現了對待測運動機構在多姿態下的運動性能測量。

技術領域

本申請涉及測試技術領域，尤其涉及運動機構的測量裝置及測量系統。

背景技術

運動機構為一種具有移動或轉動的機械結構，對于運動精度達到微米級的微型運動機構來說，其運動精度的要求相對較高，同時影響其運動精度的因素也較多，所以對微型運動機構的性能測試至關重要。

現有針對微型運動機構的測量，存在測量裝置結構復雜，或者只能在固定姿態下測量的問題，無法相對全面地評估微型運動機構在不同姿態下的運動性能。

發明內容

本申請提供了運動機構的測量裝置及測量系統，該測量裝置的結構相對簡單，且能較為全面地測量運動機構，特別是微型運動機構，在不同姿態下的運動性能。

本申請第一方面提供了一種運動機構的測量裝置，包括測量模塊，該測量模塊包括基座、運動載臺和測量部件；運動載臺和測量部件均安裝在基座的內腔；運動載臺用于承載待測運動機構，運動載臺可帶動待測運動機構動作以使待測運動機構的待測面處在測量部件的測量范圍內；測量部件可沿第一方向移動以靠近或遠離運動載臺。其中，待測運動機構的運動件的運動方式不限，可以為直線移動或者轉動等。

本申請提供的測量裝置，將承載待測運動機構的運動載臺和測量部件集成在基座上，且運動載臺和測量部件的相對位置可調，確保了待測運動機構的可測性和測量準確性，該結構設置將測量模塊集成為一個整體，可以實現多姿態的變化，使得待測運動機構在不同姿態下的測量得以實現，從而可以獲取待測運動機構在多種姿態下的測量數據，為待測運動機構的運動性能評估等提供較為全面的數據支持，并且，該測量裝置的結構相對簡單。另外，該測量裝置對待測運動機構不做限制，即待測運動機構的運動件的運動方式不限，可以是直線移動的運動方式，也可以是轉動的運動方式等，只需根據測試指標替換相應的測量部件即可，通用性高。

在一種可能的實現方式中，運動載臺包括移動載臺，該移動載臺可沿第二方向和第三方向移動，其中，第二方向垂直于第三方向，且第二方向和第三方向均垂直于第一方向。該移動載臺的設置，方便調整待測運動機構處在測量部件的測量范圍內。

在另一種可能的實現方式中，運動載臺還包括轉動載臺，該轉動載臺可繞第一轉軸和第二轉軸轉動，其中，第一轉軸與移動載臺可移動的第二方向平行，第二轉軸與移動載臺可移動的第三方向平行。該轉動載臺的設置，方便對待測運動機構的姿態進行調整，以滿足測試要求。

在另一種可能的實現方式中，移動載臺安裝于轉動載臺，待測運動機構安裝于移動載臺。通過轉動載臺調整移動載臺的姿態來調整待測運動機構的姿態，移動載臺對待測運動機構與測量部件的相對位置進行調整，該結構設置簡單易實施。實際應用中，也可將轉動載臺安裝在移動載臺上，將待測運動機構安裝在移動載臺上。

在另一種可能的實現方式中，基座的內腔安裝有支座，測量部件安裝在支座上，支座與基座之間具有滑動副，以沿第一方向帶動測量部件移動。如此，方便調整測量部件和待測運動機構之間的距離，也方便根據測量需要更換不同的測量部件。

在另一種可能的實現方式中，待測運動機構的待測面包括運動特征和基準特征，運動特征設于待測運動機構的運動件，基準特征設于待測運動機構的非動件，這里，非動件指的是不動的部件。通過在待測運動機構上設置運動特征和基準特征，可以獲取運動機構的絕對運動精度。