[實用新型]一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置

有效

• 申請號: 202220933978.3
• 申請日: 2022-04-21
• 公開（公告）號: CN217560876U
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發明（設計）人: 朱兵;錢榮華
• 申請（專利權）人: 蘇州埃緹益自動化科技有限公司
• 主分類號: G01M3/04
• 分類號: G01M3/04
• 代理公司: 蘇州言思嘉信專利代理事務所(普通合伙) 32385
• 代理人: 安琳

1.一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，包括固定機構(1)和安裝機構(3)，其特征在于，所述固定機構(1)的內側中部安裝有用于位置調節的移動機構(2)，用于安裝的所述安裝機構(3)設置于固定機構(1)的內部上方，且固定機構(1)的上表面前端開設有用于排水的流通機構(4)，所述固定機構(1)的上方后部連接有用于吹風的干燥機構(5)，所述安裝機構(3)的上方連接有用于安裝的連接機構(6)，且安裝機構(3)包括導水管(301)和卡環(302)，所述導水管(301)的上方兩側安裝有卡環(302)，所述流通機構(4)包括流通槽(401)和漏水口(402)，且流通槽(401)的下方設置有漏水口(402)，所述連接機構(6)包括插接管(601)和卡合環(602)，且插接管(601)的中部設置有卡合環(602)。

2.根據權利要求1所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述導水管(301)與插接管(601)相連通，且插接管(601)的設置數目為三個。

3.根據權利要求1所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述固定機構(1)包括主體箱(101)和安裝罩(102)，且主體箱(101)的上方中部設置有安裝罩(102)。

4.根據權利要求3所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述固定機構(1)還包括透明板(103)，且透明板(103)固定在主體箱(101)的內部上方。

5.根據權利要求1所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述移動機構(2)包括第一直線電機(201)和移動架(202)，且第一直線電機(201)的上方安裝有移動架(202)。

6.根據權利要求5所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述移動機構(2)還包括第二直線電機(203)和熱像儀(204)，且第二直線電機(203)安裝在移動架(202)的上方，所述第二直線電機(203)的上方中部設置有熱像儀(204)。

7.根據權利要求1所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述干燥機構(5)包括進氣管(501)和導氣管(502)，且進氣管(501)的輸出端連接有導氣管(502)。

8.根據權利要求7所述的一種可引流排水的半導體老化設備漏水檢測裝置，其特征在于，所述干燥機構(5)還包括噴氣口(503)，且噴氣口(503)安裝在導氣管(502)的輸出端。