[實用新型]一種掃描電鏡塊狀樣品臺

有效

• 申請號: 202220929063.5
• 申請日: 2022-04-21
• 公開（公告）號: CN219038883U
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 朱欣欣;黨娟;程雅琳;王歡歡;徐艷麗;許明哲;劉坤洋;聶孟威
• 申請（專利權）人: 開封時代新能源科技有限公司
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204
• 代理公司: 河南大象律師事務所 41129
• 代理人: 李迎波

本實用新型屬于掃描電鏡樣品臺技術領域，尤其是一種掃描電鏡塊狀樣品臺，針對現有的掃描電鏡樣塊狀樣品臺對于一些形狀不規則、磁性塊體、不導電材料實用性低的問題，現提出如下方案，其包括樣品臺底座、凹形圓臺和圓形格柵片，所述凹形圓臺固定安裝在樣品臺底座的頂部，所述圓形格柵片位于所述凹形圓臺的上方，所述凹形圓臺頂部開設有兩個對稱設置的螺紋孔，螺紋孔內螺紋連接有螺釘，螺釘與圓形格柵片相互配合，所述樣品臺底座與凹形圓臺材質為鋁合金材質，所述圓形格柵片的材質為鋁基或者銅基合金，且圓形格柵片直徑與凹形圓臺直徑相同。本實用新型的樣品制備簡單方便，不需要對樣品進行特殊處理，樣品可以回收再利用。

技術領域

本實用新型涉及掃描電鏡樣品臺技術領域，尤其涉及一種掃描電鏡塊狀樣品臺。

背景技術

掃描電子顯微鏡是一種精密測試儀器，它通過電子槍發射出穩定和可調的電子束轟擊樣品表面，從而激發出各種信號，并通過不同的探測裝置對信號進行收集和處理，用來表征樣品信息。掃描電子顯微鏡所涉及包含生物、醫藥、礦物、材料、基礎物理和化學等眾多領域。

現有的掃描電鏡樣塊狀樣品臺，一般采用夾具從塊狀樣品的側面固定，對于一些形狀不規則、磁性塊體、不導電材料實用性有待提高。例如，塊體樣品一般形狀不規則，切割或拋磨出平整側面相對麻煩。用螺釘直接固定不太方便，且其接觸面積較小，一般采用導電膠粘在樣品側面，再用螺釘固定。但導電膠在真空中會變形，導致與樣品之間剝離，增加接觸電阻；磁性塊體，若僅靠側面和底面固定，依然存在被吸附到電鏡極靴上的危險情況；導電性能較差的塊體僅依靠側面和底部并不能很好的轉移電子，需要在觀測表面粘導電膠帶以增加接觸面，提高導電性。但是導電膠帶可能會污染樣品，不利于樣品回收進行后續測試。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有的掃描電鏡樣塊狀樣品臺對于一些形狀不規則、磁性塊體、不導電材料實用性低的缺點，而提出的一種掃描電鏡塊狀樣品臺。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：

一種掃描電鏡塊狀樣品臺，包括樣品臺底座、凹形圓臺和圓形格柵片，所述凹形圓臺固定安裝在樣品臺底座的頂部，所述圓形格柵片位于所述凹形圓臺的上方，所述凹形圓臺頂部開設有兩個對稱設置的螺紋孔，螺紋孔內螺紋連接有螺釘，螺釘與圓形格柵片相互配合。

優選的，所述樣品臺底座與凹形圓臺材質為鋁合金材質。

優選的，所述圓形格柵片的材質為鋁基或者銅基合金，且圓形格柵片直徑與凹形圓臺直徑相同。

優選的，所述凹形圓臺外徑為20mm，內徑為15mm，圓形格柵片外圓直徑與凹形圓臺的外徑一致，圓形格柵片內徑尺寸與凹形圓臺內徑尺寸一致。

優選的，所述圓形格柵片為圓形薄片狀，其厚度為0.5-1mm。

與現有技術相比，本實用新型的優點在于：

本實用新型的樣品制備簡單方便，不需要對樣品進行特殊處理，樣品可以回收再利用。

附圖說明

圖1為本實用新型提出的一種掃描電鏡塊狀樣品臺的結構示意圖；

圖2為本實用新型提出的一種掃描電鏡塊狀樣品臺的俯視結構示意圖；

圖3為本實用新型提出的一種掃描電鏡塊狀樣品臺的仰視結構示意圖。

圖中：1、樣品臺底座；2、凹形圓臺；3、圓形格柵片；4、螺釘。

具體實施方式

下面將結合本實施例中的附圖，對本實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實施例一部分實施例，而不是全部的實施例。

實施例一