[實用新型]一種掃描電鏡塊狀樣品臺

有效

• 申請號: 202220929063.5
• 申請日: 2022-04-21
• 公開（公告）號: CN219038883U
• 公開（公告）日: 2023-05-16
• 發明（設計）人: 朱欣欣;黨娟;程雅琳;王歡歡;徐艷麗;許明哲;劉坤洋;聶孟威
• 申請（專利權）人: 開封時代新能源科技有限公司
• 主分類號: G01N23/2204
• 分類號: G01N23/2204
• 代理公司: 河南大象律師事務所 41129
• 代理人: 李迎波

1.一種掃描電鏡塊狀樣品臺，包括樣品臺底座(1)、凹形圓臺(2)和圓形格柵片(3)，其特征在于，所述凹形圓臺(2)固定安裝在樣品臺底座(1)的頂部，所述圓形格柵片(3)位于所述凹形圓臺(2)的上方，所述凹形圓臺(2)頂部開設有兩個對稱設置的螺紋孔，螺紋孔內螺紋連接有螺釘(4)，螺釘(4)與圓形格柵片(3)相互配合。

2.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡塊狀樣品臺，其特征在于，所述樣品臺底座(1)與凹形圓臺(2)材質為鋁合金材質。

3.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡塊狀樣品臺，其特征在于，所述圓形格柵片(3)的材質為鋁基或者銅基合金，且圓形格柵片(3)直徑與凹形圓臺(2)直徑相同。

4.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡塊狀樣品臺，其特征在于，凹形圓臺(2)外徑為20mm，內徑為15mm，圓形格柵片(3)外圓直徑與凹形圓臺(2)的外徑一致，圓形格柵片(3)內徑尺寸與凹形圓臺(2)內徑尺寸一致。

5.根據權利要求1所述的一種掃描電鏡塊狀樣品臺，其特征在于，所述圓形格柵片(3)為圓形薄片狀，其厚度為0.5-1mm。