[實用新型]一種適用于晶圓加工的夾取裝置

有效

• 申請號: 202220916303.8
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN217114360U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發明（設計）人: 陳曙光;林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京同輝知識產權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

本實用新型涉及一種適用于晶圓加工的夾取裝置，包括夾爪盒本體，夾爪盒本體的頂部和底部分別設置有上蓋和下蓋，夾爪盒本體內沿著Y軸的正方向依次設置有下壓機構和夾爪驅動機構，夾爪連接塊通過夾爪連接軸與下壓機構相連接。本實用新型一種適用于晶圓加工的夾取裝置，通過夾爪盒本體的夾爪驅動機構可以實現對晶圓盒的夾取操作，結構設置合理，操作簡單，使用方便；通過下壓機構可以對夾爪盒本體實現在一定程度上的下壓處理，方便夾取操作。

技術領域

本實用新型涉及晶圓加工相關技術領域，尤其涉及一種適用于晶圓加工的夾取裝置。

背景技術

晶圓是一種非常貴重的產品，在放置過程中必須要保證其不能損壞。其中晶圓盒是其行業常見裝晶圓及藍寶石的裝置。晶圓盒的進出操作通常是人工拿取的方式，需要設計一種夾取裝置可以實現對晶圓盒的進出料的夾取操作。

有鑒于上述的缺陷，本設計人積極加以研究創新，以期創設一種適用于晶圓加工的夾取裝置，使其更具有產業上的利用價值。

實用新型內容

為解決上述技術問題，本實用新型的目的是提供一種適用于晶圓加工的夾取裝置。

為實現上述目的，本實用新型采用如下技術方案：

一種適用于晶圓加工的夾取裝置，包括夾爪盒本體，夾爪盒本體的頂部和底部分別設置有上蓋和下蓋，夾爪盒本體內沿著Y軸的正方向依次設置有下壓機構和夾爪驅動機構，夾爪連接塊通過夾爪連接軸與下壓機構相連接；

夾爪驅動機構包括夾爪、夾爪電機、蝸桿座、蝸桿和蝸輪，夾爪電機通過電機座安裝在蝸桿座上，夾爪電機沿著X軸正方向一側的驅動端與蝸桿座內沿著X軸方向的蝸桿驅動連接設置，蝸桿與沿著Y軸負方向一側的蝸輪相連接，蝸輪底部的兩側分別設置有夾爪固定軸，夾爪盒本體沿著X軸方向兩側的中間位置均設置有夾爪，夾爪的內側通過夾爪臂安裝在夾爪盒本體內的夾爪臂安裝塊上，夾爪臂與夾爪臂安裝塊鉸接，夾爪固定軸與連桿的第一側相連接，連桿的第二側通過連接棒與夾爪連接臂相連接，夾爪連接臂與夾爪臂的內側底部相連接；

下壓機構包括沿著X軸方向并列設置的兩組下壓組件，下壓組件包括下壓立架、下壓擺臂和下壓連接塊，下壓立架上從上往下依次設置有兩個下壓擺臂，且兩個下壓擺臂分別位于夾爪連接軸的上方和下方，下壓擺臂沿著Y軸負方向的一側通過銷軸與下壓立架相連接，下壓擺臂沿著Y軸正方向的一側通過銷軸與下壓連接塊相連接，夾爪連接軸沿著X軸方向依次穿過兩個下壓連接塊，且夾爪連接軸通過防撞銷釘與下壓連接塊連接在一起。

作為本實用新型的進一步改進，蝸桿座的上方還設置有軸承安裝板，軸承安裝板通過立柱安裝在下蓋上，蝸輪的頂部連接設置有蝸輪盤，蝸輪盤的頂部通過第一軸承與軸承安裝板相連接，蝸輪盤的底部通過第二軸承與下蓋相連接。

作為本實用新型的進一步改進，蝸輪盤上設置有第一感應片，軸承安裝板上設置有第一感應器安裝板，第一感應器安裝板上沿著X軸方向的兩側均設置有與第一感應片相配合的第一感應器。

作為本實用新型的進一步改進，夾爪臂沿著Y軸方向的一側還設置有第二感應片，夾爪臂一側的下蓋上設置有與第二感應片相配合的第二感應器。

作為本實用新型的進一步改進，夾爪臂的底部內側還連接設置有拉簧，拉簧與軸承安裝板相連接。

作為本實用新型的進一步改進，夾爪連接軸沿著Y軸負方向一側的下蓋上設置有下壓限位塊，下壓限位塊位于兩個下壓連接塊之間，下壓限位塊內沿著Y軸方向開設有下壓限位槽，夾爪連接軸通過下壓限位柱與下壓限位槽相連接。

作為本實用新型的進一步改進，下壓連接塊的內側設置有第三感應片，兩個第三感應片之間的下蓋上設置有第二感應器安裝板，第二感應器安裝板上沿著X軸方向的兩側均設置有與第三感應片相配合的第三感應器。

作為本實用新型的進一步改進，下壓連接塊的底部和下蓋之間還設置有彈簧。