[實(shí)用新型]一種適用于晶圓加工的夾取裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220916303.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217114360U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳曙光;林堅(jiān);王彭
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/687
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/687;H01L21/67
• 代理公司: 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

1.一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，包括夾爪盒本體(1)，所述夾爪盒本體(1)的頂部和底部分別設(shè)置有上蓋(3)和下蓋(4)，所述夾爪盒本體(1)內(nèi)沿著Y軸的正方向依次設(shè)置有下壓機(jī)構(gòu)(8)和夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，夾爪連接塊(2)通過(guò)夾爪連接軸(7)與所述下壓機(jī)構(gòu)(8)相連接；

所述夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括夾爪(5)、夾爪電機(jī)(12)、蝸桿座(15)、蝸桿(17)和蝸輪(18)，所述夾爪電機(jī)(12)通過(guò)電機(jī)座(14)安裝在蝸桿座(15)上，所述夾爪電機(jī)(12)沿著X軸正方向一側(cè)的驅(qū)動(dòng)端與蝸桿座(15)內(nèi)沿著X軸方向的蝸桿(17)驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，所述蝸桿(17)與沿著Y軸負(fù)方向一側(cè)的蝸輪(18)相連接，所述蝸輪(18)底部的兩側(cè)分別設(shè)置有夾爪固定軸(30)，所述夾爪盒本體(1)沿著X軸方向兩側(cè)的中間位置均設(shè)置有夾爪(5)，所述夾爪(5)的內(nèi)側(cè)通過(guò)夾爪臂(9)安裝在夾爪盒本體(1)內(nèi)的夾爪臂安裝塊(10)上，所述夾爪臂(9)與夾爪臂安裝塊(10)鉸接，所述夾爪固定軸(30)與連桿(28)的第一側(cè)相連接，所述連桿(28)的第二側(cè)通過(guò)連接棒(27)與夾爪連接臂(11)相連接，所述夾爪連接臂(11)與夾爪臂(9)的內(nèi)側(cè)底部相連接；

所述下壓機(jī)構(gòu)(8)包括沿著X軸方向并列設(shè)置的兩組下壓組件，所述下壓組件包括下壓立架(31)、下壓擺臂(32)和下壓連接塊(33)，所述下壓立架(31)上從上往下依次設(shè)置有兩個(gè)下壓擺臂(32)，且兩個(gè)所述下壓擺臂(32)分別位于夾爪連接軸(7)的上方和下方，所述下壓擺臂(32)沿著Y軸負(fù)方向的一側(cè)通過(guò)銷(xiāo)軸與下壓立架(31)相連接，所述下壓擺臂(32)沿著Y軸正方向的一側(cè)通過(guò)銷(xiāo)軸與下壓連接塊(33)相連接，所述夾爪連接軸(7)沿著X軸方向依次穿過(guò)兩個(gè)下壓連接塊(33)，且所述夾爪連接軸(7)通過(guò)防撞銷(xiāo)釘(34)與下壓連接塊(33)連接在一起。

2.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述蝸桿座(15)的上方還設(shè)置有軸承安裝板(16)，所述軸承安裝板(16)通過(guò)立柱(20)安裝在下蓋(4)上，所述蝸輪(18)的頂部連接設(shè)置有蝸輪盤(pán)(23)，所述蝸輪盤(pán)(23)的頂部通過(guò)第一軸承(22)與軸承安裝板(16)相連接，所述蝸輪盤(pán)(23)的底部通過(guò)第二軸承(29)與下蓋(4)相連接。

3.如權(quán)利要求2所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述蝸輪盤(pán)(23)上設(shè)置有第一感應(yīng)片(21)，所述軸承安裝板(16)上設(shè)置有第一感應(yīng)器安裝板(19)，所述第一感應(yīng)器安裝板(19)上沿著X軸方向的兩側(cè)均設(shè)置有與第一感應(yīng)片(21)相配合的第一感應(yīng)器(24)。

4.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述夾爪臂(9)沿著Y軸方向的一側(cè)還設(shè)置有第二感應(yīng)片(26)，所述夾爪臂(9)一側(cè)的下蓋(4)上設(shè)置有與第二感應(yīng)片(26)相配合的第二感應(yīng)器(25)。

5.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述夾爪臂(9)的底部?jī)?nèi)側(cè)還連接設(shè)置有拉簧(13)，所述拉簧(13)與軸承安裝板(16)相連接。

6.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述夾爪連接軸(7)沿著Y軸負(fù)方向一側(cè)的下蓋(4)上設(shè)置有下壓限位塊(35)，所述下壓限位塊(35)位于兩個(gè)下壓連接塊(33)之間，所述下壓限位塊(35)內(nèi)沿著Y軸方向開(kāi)設(shè)有下壓限位槽(37)，所述夾爪連接軸(7)通過(guò)下壓限位柱(36)與下壓限位槽(37)相連接。

7.如權(quán)利要求6所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述下壓連接塊(33)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第三感應(yīng)片(40)，兩個(gè)所述第三感應(yīng)片(40)之間的下蓋(4)上設(shè)置有第二感應(yīng)器安裝板(38)，所述第二感應(yīng)器安裝板(38)上沿著X軸方向的兩側(cè)均設(shè)置有與第三感應(yīng)片(40)相配合的第三感應(yīng)器(39)。

8.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述下壓連接塊(33)的底部和下蓋(4)之間還設(shè)置有彈簧(41)。

9.如權(quán)利要求1所述的一種適用于晶圓加工的夾取裝置，其特征在于，所述夾爪(5)底部?jī)?nèi)側(cè)的下蓋(4)上設(shè)置有夾爪限位塊(6)。