[實(shí)用新型]一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220916302.3
• 申請(qǐng)日: 2022-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN217020420U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳曙光;林堅(jiān);王彭
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 泓滸（蘇州）半導(dǎo)體科技有限公司
• 主分類號(hào): B25J15/00
• 分類號(hào): B25J15/00;B25J15/08;B65G47/90;B65G49/07
• 代理公司: 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

本實(shí)用新型涉及一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)，包括夾爪盒本體，夾爪盒本體的頂部和底部分別設(shè)置有上蓋和下蓋，夾爪盒本體內(nèi)沿著Y軸的正方向依次設(shè)置有軸固定塊和夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，夾爪盒本體沿著X軸負(fù)方向的一側(cè)設(shè)置有夾爪連接塊，夾爪連接塊通過夾爪連接軸與夾爪盒本體內(nèi)的軸固定塊相連接。本實(shí)用新型一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)，通過夾爪盒本體的夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒的夾取操作，結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，操作簡單，使用方便；夾爪連接塊通過夾爪連接軸與夾爪盒本體內(nèi)的軸固定塊相連接的結(jié)構(gòu)設(shè)置，可以方便通過夾爪連接塊控制夾爪盒本體的運(yùn)動(dòng)情況。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及晶圓加工相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)

晶圓是一種非常貴重的產(chǎn)品，在放置過程中必須要保證其不能損壞。其中晶圓盒是其行業(yè)常見裝晶圓及藍(lán)寶石的裝置。晶圓盒的進(jìn)出操作通常是人工拿取的方式，需要設(shè)計(jì)一種夾取裝置可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒的進(jìn)出料的夾取操作。

有鑒于上述的缺陷，本設(shè)計(jì)人積極加以研究創(chuàng)新，以期創(chuàng)設(shè)一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)，使其更具有產(chǎn)業(yè)上的利用價(jià)值。

實(shí)用新型內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案：

一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)，包括夾爪盒本體，夾爪盒本體的頂部和底部分別設(shè)置有上蓋和下蓋，夾爪盒本體內(nèi)沿著Y軸的正方向依次設(shè)置有軸固定塊和夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，夾爪盒本體沿著X軸負(fù)方向的一側(cè)設(shè)置有夾爪連接塊，夾爪連接塊通過夾爪連接軸與夾爪盒本體內(nèi)的軸固定塊相連接，夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括夾爪、夾爪電機(jī)、蝸桿座、蝸桿和蝸輪，夾爪電機(jī)通過電機(jī)座安裝在蝸桿座上，夾爪電機(jī)沿著X軸正方向一側(cè)的驅(qū)動(dòng)端與蝸桿座內(nèi)沿著X軸方向的蝸桿驅(qū)動(dòng)連接設(shè)置，蝸桿與沿著Y軸負(fù)方向一側(cè)的蝸輪相連接，蝸輪底部的兩側(cè)分別設(shè)置有夾爪固定軸，夾爪盒本體沿著X軸方向兩側(cè)的中間位置均設(shè)置有夾爪，夾爪的內(nèi)側(cè)通過夾爪臂安裝在夾爪盒本體內(nèi)的夾爪臂安裝塊上，夾爪臂與夾爪臂安裝塊鉸接，夾爪固定軸與連桿的第一側(cè)相連接，連桿的第二側(cè)通過連接棒與夾爪連接臂相連接，夾爪連接臂與夾爪臂的內(nèi)側(cè)底部相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，蝸桿座的上方還設(shè)置有軸承安裝板，軸承安裝板通過立柱安裝在下蓋上，蝸輪的頂部連接設(shè)置有蝸輪盤，蝸輪盤的頂部通過第一軸承與軸承安裝板相連接，蝸輪盤的底部通過第二軸承與下蓋相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，蝸輪盤上設(shè)置有第一感應(yīng)片，軸承安裝板上設(shè)置有第一感應(yīng)器安裝板，第一感應(yīng)器安裝板上沿著X軸方向的兩側(cè)均設(shè)置有與第一感應(yīng)片相配合的第一感應(yīng)器。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，夾爪臂沿著Y軸方向的一側(cè)還設(shè)置有第二感應(yīng)片，夾爪臂一側(cè)的下蓋上設(shè)置有與第二感應(yīng)片相配合的第二感應(yīng)器。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，夾爪臂的底部內(nèi)側(cè)還連接設(shè)置有拉簧，拉簧與軸承安裝板相連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，夾爪底部內(nèi)側(cè)的下蓋上設(shè)置有夾爪限位塊。

借由上述方案，本實(shí)用新型至少具有以下優(yōu)點(diǎn)：

本實(shí)用新型一種晶圓加工用夾爪機(jī)構(gòu)，通過夾爪盒本體的夾爪驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓盒的夾取操作，結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，操作簡單，使用方便；夾爪連接塊通過夾爪連接軸與夾爪盒本體內(nèi)的軸固定塊相連接的結(jié)構(gòu)設(shè)置，可以方便通過夾爪連接塊控制夾爪盒本體的運(yùn)動(dòng)情況。

上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。

附圖說明