[實用新型]一種晶圓加工用夾爪機構

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220916302.3
• 申請日: 2022-04-20
• 公開（公告）號: CN217020420U
• 公開（公告）日: 2022-07-22
• 發(fā)明（設計）人: 陳曙光;林堅;王彭
• 申請（專利權）人: 泓滸（蘇州）半導體科技有限公司
• 主分類號: B25J15/00
• 分類號: B25J15/00;B25J15/08;B65G47/90;B65G49/07
• 代理公司: 北京同輝知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11357
• 代理人: 李曉峰

1.一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，包括夾爪盒本體(1)，所述夾爪盒本體(1)的頂部和底部分別設置有上蓋(3)和下蓋(4)，所述夾爪盒本體(1)內(nèi)沿著Y軸的正方向依次設置有軸固定塊(8)和夾爪驅(qū)動機構，所述夾爪盒本體(1)沿著X軸負方向的一側設置有夾爪連接塊(2)，所述夾爪連接塊(2)通過夾爪連接軸(7)與夾爪盒本體(1)內(nèi)的軸固定塊(8)相連接，所述夾爪驅(qū)動機構包括夾爪(5)、夾爪電機(12)、蝸桿座(15)、蝸桿(17)和蝸輪(18)，所述夾爪電機(12)通過電機座(14)安裝在蝸桿座(15)上，所述夾爪電機(12)沿著X軸正方向一側的驅(qū)動端與蝸桿座(15)內(nèi)沿著X軸方向的蝸桿(17)驅(qū)動連接設置，所述蝸桿(17)與沿著Y軸負方向一側的蝸輪(18)相連接，所述蝸輪(18)底部的兩側分別設置有夾爪固定軸(30)，所述夾爪盒本體(1)沿著X軸方向兩側的中間位置均設置有夾爪(5)，所述夾爪(5)的內(nèi)側通過夾爪臂(9)安裝在夾爪盒本體(1)內(nèi)的夾爪臂安裝塊(10)上，所述夾爪臂(9)與夾爪臂安裝塊(10)鉸接，所述夾爪固定軸(30)與連桿(28)的第一側相連接，所述連桿(28)的第二側通過連接棒(27)與夾爪連接臂(11)相連接，所述夾爪連接臂(11)與夾爪臂(9)的內(nèi)側底部相連接。

2.如權利要求1所述的一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，所述蝸桿座(15)的上方還設置有軸承安裝板(16)，所述軸承安裝板(16)通過立柱(20)安裝在下蓋(4)上，所述蝸輪(18)的頂部連接設置有蝸輪盤(23)，所述蝸輪盤(23)的頂部通過第一軸承(22)與軸承安裝板(16)相連接，所述蝸輪盤(23)的底部通過第二軸承(29)與下蓋(4)相連接。

3.如權利要求2所述的一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，所述蝸輪盤(23)上設置有第一感應片(21)，所述軸承安裝板(16)上設置有第一感應器安裝板(19)，所述第一感應器安裝板(19)上沿著X軸方向的兩側均設置有與第一感應片(21)相配合的第一感應器(24)。

4.如權利要求1所述的一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，所述夾爪臂(9)沿著Y軸方向的一側還設置有第二感應片(26)，所述夾爪臂(9)一側的下蓋(4)上設置有與第二感應片(26)相配合的第二感應器(25)。

5.如權利要求1所述的一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，所述夾爪臂(9)的底部內(nèi)側還連接設置有拉簧(13)，所述拉簧(13)與軸承安裝板(16)相連接。

6.如權利要求1所述的一種晶圓加工用夾爪機構，其特征在于，所述夾爪(5)底部內(nèi)側的下蓋(4)上設置有夾爪限位塊(6)。