[實用新型]一種帶預處理腔室的真空除氣系統

有效

• 申請號: 202220895424.9
• 申請日: 2022-04-15
• 公開（公告）號: CN219083519U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 冉銳
• 申請（專利權）人: 四川景恒科技有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B3/30;F26B25/00;F26B21/14
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 賀迎迎

本實用新型公開了一種帶預處理腔室的真空除氣系統，屬于高真空干燥領域，包括箱體，還包括預處理腔室、真空腔室、加熱爐、送樣組件、真空系統、充氣系統及控制系統，所述真空系統包括干式組件及冷式組件，所述預處理腔室與真空腔室之間設置有第一閘板閥，所述加熱爐的腔體內設置有真空腔室，所述干式組件分別與所述預處理腔室和真空腔室通過管道連通，所述冷式組件通過管道與真空腔室連通，所述充氣系統分別與所述預處理腔室和真空腔室通過管道連通，所述送樣組件活動的設置在預處理腔室的外側，所述控制系統分別與加熱爐及真空系統電連接。可以使干燥的器件樣品的水汽含量相對于國標降低一個數量級，相對于將行業水平提高5倍。

技術領域

本實用新型屬于超高真空除氣干燥的領域，具體為一種帶預處理腔室的真空除氣系統。

背景技術

在半導體器件制備、新型材料等材料器件處理時，通常會使用真空干燥箱對固體物料進行干燥處理，固體物料在真空狀態下，對物料進行加熱干燥。由于水在真空狀態下蒸發點降低，故而在低溫狀態下可對物料進行干燥。現有的真空加熱干燥設備一般是通過向真空干燥機內通入氣體對物料進行干燥，干燥后用真空泵抽出水蒸氣和不凝氣體，重復操作后，實現對物料干燥，然而上述的干燥設備存在以下缺陷：(1)通入的氣體可能引入粉塵等雜質，沉積到半導體器件或新型材料等材料器件的表面導致其內部的水蒸氣解析不出來；直接通入干燥氣體進行干燥，造成溫度很難控制，局部溫度過高，產生干燥不均勻的情況；(2)現有的真空干燥設備只采用一個干燥腔，很難保持長時間的超高真空脫水脫氣環境和穩定的高真空恒溫平臺。

因此，開發一種帶預處理腔室的真空除氣系統，具有十分重要的意義。

實用新型內容

本實用新型的目的在于：針對上述現象導致的半導體器件、新型材料等材料器件處理時干燥不徹底影響材料器件的使用壽命和器件精度的問題，本實用新型提供一種帶預處理腔室的真空除氣系統。

本實用新型采用的技術方案如下：

一種帶預處理腔室的真空除氣系統，包括箱體，還包括預處理腔室、真空腔室、加熱爐、送樣組件、真空系統、充氣系統及控制系統，所述真空系統包括干式組件及冷式組件，所述預處理腔室與真空腔室之間設置有第一閘板閥，所述加熱爐的腔體內設置有真空腔室，所述干式組件分別與所述預處理腔室和真空腔室通過管道連通，所述冷式組件通過管道與真空腔室連通，所述充氣系統分別與所述預處理腔室和真空腔室通過管道連通，所述送樣組件活動的設置在預處理腔室的外側，所述控制系統分別與加熱爐及真空系統電連接。

優選地，所述干式組件包括干式真空泵、V1隔斷閥、V2隔斷閥(3)、V7隔斷閥及G1真空規，沿著連通干式真空泵與預處理腔室的管道上設置有V2隔斷閥，沿著連通干式真空泵與真空腔室的管道上設置有V7隔斷閥，在設置有所述V2隔斷閥與V7隔斷閥之前且靠近干式真空泵的管路上設置有V1隔斷閥，所述預處理腔室設置有G1真空規。

優選地，所述干式組件包括冷式真空泵、V4隔斷閥、V6閘閥及G2復合真空規，在冷式真空泵與真空腔室連通的管道上設置有V6閘閥，在冷式真空泵與干式真空泵連接的管道上設置有V4隔斷閥，所述真空腔室上設置有G2復合真空規。

優選地，所述充氣系統包括V9減壓閥、露點儀、V3隔斷閥、V5隔斷閥、G3壓阻規及充氣管道，所述充氣管道分別與預處理腔室和真空腔室連通，靠近所述預處理腔室的充氣管道上設置有V3隔斷閥，靠近所述真空腔室的充氣管道上設置有V5隔斷閥，在設置有V3隔斷閥、V5隔斷閥之前的充氣管道上依次設置有露點儀及V9減壓閥。

優選地，所述預處理腔室鉸接設置有腔室門，所述送樣組件包括送樣導桿，所述送樣導桿活動設置在預處理腔室的外側，且送樣導桿能夠在預處理腔室與真空腔室之間來回運動。

優選地，所述真空腔室主要由石英管道組成，所述石英管道的直徑不小于200mm。

優選地，所述加熱爐為遠紅外石英加熱組件。