[實用新型]一種帶預處理腔室的真空除氣系統

有效

• 申請號: 202220895424.9
• 申請日: 2022-04-15
• 公開（公告）號: CN219083519U
• 公開（公告）日: 2023-05-26
• 發明（設計）人: 冉銳
• 申請（專利權）人: 四川景恒科技有限公司
• 主分類號: F26B5/04
• 分類號: F26B5/04;F26B3/30;F26B25/00;F26B21/14
• 代理公司: 成都弘毅天承知識產權代理有限公司 51230
• 代理人: 賀迎迎

1.一種帶預處理腔室的真空除氣系統，包括箱體(23)，其特征在于，還包括預處理腔室(5)、真空腔室(11)、加熱爐(12)、送樣組件(6)、真空系統、充氣系統及控制系統，所述真空系統包括干式組件及冷式組件，所述預處理腔室(5)與真空腔室(11)之間設置有第一閘板閥(10)，所述加熱爐(12)的腔體內設置有真空腔室(11)，所述干式組件分別與所述預處理腔室(5)和真空腔室(11)通過管道連通，所述冷式組件通過管道與真空腔室(11)連通，所述充氣系統分別與所述預處理腔室(5)和真空腔室(11)通過管道連通，所述送樣組件(6)活動的設置在預處理腔室(5)的外側，所述控制系統分別與加熱爐(12)及真空系統電連接。

2.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述干式組件包括干式真空泵(1)、V1隔斷閥(2)、V2隔斷閥(3)、V7隔斷閥(20)及G1真空規(8)，沿著連通干式真空泵(1)與預處理腔室(5)的管道上設置有V2隔斷閥(3)，沿著連通干式真空泵(1)與真空腔室(11)的管道上設置有V7隔斷閥(20)，在設置有所述V2隔斷閥(3)與V7隔斷閥(20)之前且靠近干式真空泵(1)的管路上設置有V1隔斷閥(2)，所述預處理腔室(5)設置有G1真空規(8)。

3.根據權利要求2所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述干式組件包括冷式真空泵(7)、V4隔斷閥(4)、V6閘閥(19)及G2復合真空規(13)，在冷式真空泵(7)與真空腔室(11)連通的管道上設置有V6閘閥(19)，在冷式真空泵(7)與干式真空泵(1)連接的管道上設置有V4隔斷閥(4)，所述真空腔室(11)上設置有G2復合真空規(13)。

4.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述充氣系統包括V9減壓閥(18)、露點儀(17)、V3隔斷閥(9)、V5隔斷閥(14)、G3壓阻規(15)及充氣管道，所述充氣管道分別與預處理腔室(5)和真空腔室(11)連通，靠近所述預處理腔室(5)的充氣管道上設置有V3隔斷閥(9)，靠近所述真空腔室(11)的充氣管道上設置有V5隔斷閥(14)，在設置有V3隔斷閥(9)、V5隔斷閥(14)之前的充氣管道上依次設置有露點儀(17)及V9減壓閥(18)。

5.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述預處理腔室(5)鉸接設置有腔室門(501)，所述送樣組件(6)包括送樣導桿(601)，所述送樣導桿(601)活動設置在預處理腔室(5)的外側，且送樣導桿(601)能夠在預處理腔室(5)與真空腔室(11)之間來回運動。

6.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述真空腔室(11)主要由石英管道組成，所述石英管道的直徑不小于200mm。

7.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述加熱爐(12)為遠紅外石英加熱組件。

8.根據權利要求1所述的一種帶預處理腔室的真空除氣系統，其特征在于，所述控制系統(21)包括可編程邏輯控制器、觸摸屏組件(22)及執行單元。