[實用新型]一種晶圓輸送檢查平臺有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 202220882700.8 | 申請日： | 2022-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN217740500U | 公開（公告）日： | 2022-11-04 |
| 發(fā)明（設計）人： | 鄭亞陽;田金泉;王廣祿;李濤 | 申請（專利權(quán)）人： | 憬承光電科技（廈門）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/683 | 分類號： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 361115 福建省廈門市火炬高新區(qū)（翔安*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 輸送 檢查 平臺 | ||
1.一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：包括機座(1)、檢查工作臺(2)、旋轉(zhuǎn)模組和升降模組，所述機座(1)上固定有固定模組(3)，所述升降模組包括第一電機(4)、絲桿(5)、升降板(6)、導向柱(7)和支撐桿(8)，所述支撐桿(8)一端固定于升降板(6)上，另一端安裝有緩沖吸附嘴(9)，所述升降板(6)設有螺紋孔與絲桿(5)配合，絲桿(5)和導向柱(7)的尾端均固定在機座(1)上，所述升降板(6)前端設有第一限位感應片(10)，固定模組側(cè)面通過固定板安裝有頂端限位感應器(11)和底端限位感應器(12)，所述旋轉(zhuǎn)模組包括第二電機(13)、旋轉(zhuǎn)軸(14)和旋轉(zhuǎn)臺(15)，所述旋轉(zhuǎn)臺(15)固定于旋轉(zhuǎn)軸(14)上端，所述旋轉(zhuǎn)臺(15)上安裝有若干真空吸附嘴(16)，所述旋轉(zhuǎn)軸(14)貫穿固定模組(3)與第二電機(13)進行配合，所述檢查工作臺(2)固定在旋轉(zhuǎn)臺(15)上方，所述檢查工作臺(2)設有若干個供緩沖吸附嘴(9)和真空吸附嘴(16)穿過的圓孔，所述檢查工作臺(2)表面設有適用8寸和12寸晶圓配合的軟膠緩沖帶(17)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：所述機座上還安裝有防護罩。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：所述第一電機(4)和第二電機(13)均固定安裝在機座(1)底部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：所述軟膠緩沖帶(17)為圓環(huán)形狀。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：所述導向柱(7)至少有三根。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)軸安裝有第二限位感應片(18)，所述固定模組上端通過固定片安裝有旋轉(zhuǎn)限位感應器(19)。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
