[實用新型]一種晶圓輸送檢查平臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220882700.8
• 申請日: 2022-04-18
• 公開（公告）號: CN217740500U
• 公開（公告）日: 2022-11-04
• 發(fā)明（設計）人: 鄭亞陽;田金泉;王廣祿;李濤
• 申請（專利權）人: 憬承光電科技（廈門）有限公司
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：包括機座、檢查工作臺、旋轉(zhuǎn)模組和升降模組，所述機座上固定有固定模組，本實用新型通過旋轉(zhuǎn)模組和升降模組與搬運機械手對晶圓進行交握動作，并在檢查工作臺進行尋找中心點和晶圓晶面檢查等工作，提供了較大的便利，方便自動化動作，減少人工對晶圓造成的損壞。

技術領域

本實用新型涉及晶圓檢查技術領域，尤其涉及一種晶圓輸送檢查平臺。

背景技術

晶圓是指硅半導體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結構，而成為有特定電性功能之IC產(chǎn)品，晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅，其中在制作生產(chǎn)晶圓的過程中常需使用到檢查平臺易便于觀察晶圓的形狀，檢查晶圓形貌(包含圖形，外觀等)、缺陷(包含異物，缺失，劃痕等) 和量測數(shù)據(jù)(包含CD關鍵尺寸，Overlay套刻尺寸，線路尺寸等)，但傳統(tǒng)的檢查平臺，同時使用顯微鏡這單一結構對其進行觀察，在觀察的過程中不利于調(diào)節(jié)對晶圓位置的移動，操作繁瑣，降低了工作效率，同時不利于直接的顯示出晶圓的觀察形貌。

實用新型內(nèi)容

針對上述問題，本實用新型提供了一種晶圓輸送檢查平臺。

為解決上述技術問題，本實用新型所采用的技術方案是：一種晶圓輸送檢查平臺，其特征在于：包括機座、檢查工作臺、旋轉(zhuǎn)模組和升降模組，所述機座上固定有固定模組，所述升降模組包括第一電機、絲桿、升降板、導向柱和支撐桿，所述支撐桿一端固定于升降板上，另一端安裝有緩沖吸附嘴，所述升降板設有螺紋孔與絲桿配合，絲桿和導向柱的尾端均固定在機座上，所述升降板前端設有第一限位感應片，固定模組側(cè)面通過固定板安裝有頂端限位感應器和底端限位感應器，所述旋轉(zhuǎn)模組包括第二電機、旋轉(zhuǎn)軸和旋轉(zhuǎn)臺，所述旋轉(zhuǎn)臺固定于旋轉(zhuǎn)軸上端，所述旋轉(zhuǎn)臺上安裝有若干真空吸附嘴，所述旋轉(zhuǎn)軸貫穿固定模組與第二電機進行配合，所述檢查工作臺固定在旋轉(zhuǎn)臺上方，所述檢查工作臺設有若干個供緩沖吸附嘴和真空吸附嘴穿過的圓孔，所述檢查工作臺表面設有適用8寸和12寸晶圓配合的軟膠緩沖帶。

進一步的，所述機座上還安裝有防護罩。

進一步的，所述第一電機和第二電機均固定安裝在機座底部。

進一步的，所述軟膠緩沖帶為圓環(huán)形狀。

進一步的，所述導向柱至少有三根。

進一步的，所述旋轉(zhuǎn)軸安裝有第二限位感應片，所述固定模組上端通過固定片安裝有旋轉(zhuǎn)限位感應器。

通過旋轉(zhuǎn)模組和升降模組的動作，對晶圓進行交握和檢查動作。

由上述對本實用新型結構的描述可知，和現(xiàn)有技術相比，本實用新型具有如下優(yōu)點：用真空吸附嘴承接產(chǎn)品進行上下取放晶圓功能，再直接用利用真空吸附嘴吸附晶圓產(chǎn)品，針對翹曲產(chǎn)品的吸附拉平產(chǎn)品功能，也可以應用于普通產(chǎn)品。

附圖說明

構成本申請的一部分的附圖用來提供對本實用新型的進一步理解，本實用新型的示意性實施例及其說明用于解釋本實用新型，并不構成對本實用新型的不當限定。在附圖中：

圖1為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的結構示意圖；

圖2為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的局部結構示意圖；

圖3為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的右側(cè)局部結構示意圖；

圖4為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的左側(cè)局部結構示意圖；

圖5為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的底部局部結構示意圖；

圖6為本實用新型一種晶圓輸送檢查平臺的局部立體結構示意圖。

具體實施方式