[實用新型]管道堵塞物清除機構(gòu)及晶圓生產(chǎn)設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220856167.8
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN217251290U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐科;李健鵬;吳侃
• 申請（專利權(quán)）人: 紹興中芯集成電路制造股份有限公司
• 主分類號: B08B9/047
• 分類號: B08B9/047;H01L21/67
• 代理公司: 華進聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 唐清凱

1.一種管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，包括：

刮削治具，包括沿管道的周向延伸的工作面，所述工作面用于刮除堵塞物，所述刮削治具開設(shè)有通孔，所述通孔連通所述刮削治具沿所述管道的軸向的相對兩端；

驅(qū)動模塊，配接于所述刮削治具，所述驅(qū)動模塊用于驅(qū)動所述刮削治具沿所述管道的軸向往復(fù)移動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動模塊包括驅(qū)動組件和傳動機構(gòu)，所述傳動機構(gòu)的相對兩端分別傳動連接所述驅(qū)動組件和所述刮削治具，以使所述驅(qū)動組件能夠驅(qū)動所述傳動機構(gòu)帶動所述刮削治具沿所述管道的軸向往復(fù)運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述傳動機構(gòu)包括支架和傳動單元，所述支架圍成沿一平行于所述管道的軸向方向延伸的傳送通道，所述傳動單元設(shè)置在所述傳送通道內(nèi)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述傳送通道靠近所述刮削治具的一側(cè)設(shè)有沿平行于所述管道的軸向方向延伸的限位槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述傳動機構(gòu)還包括擋簾，所述擋簾設(shè)在所述支架上并封閉所述限位槽，所述擋簾配置為在外力作用下能夠部分開啟所述限位槽并能夠發(fā)生可恢復(fù)的變形，以能夠自動封閉所述限位槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述傳動單元包括：

兩個連接件，間隔地設(shè)于所述支架；

齒輪，連接于所述驅(qū)動組件的一端；及

傳動鏈，沿平行于所述管道的軸向方向的相對兩端分別套設(shè)于一個所述連接件，在一垂直于所述管道的軸向方向上，所述傳動鏈形成間隔設(shè)置的第一子傳動鏈和第二子傳動鏈，所述第一子傳動鏈嚙合于所述齒輪，所述第二子傳動鏈連接所述刮削治具；所述齒輪能夠繞垂直于所述管道的軸向方向往復(fù)轉(zhuǎn)動，以驅(qū)動所述傳動鏈帶動所述刮削治具沿所述管道的軸向往復(fù)移動。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述齒輪驅(qū)動所述第一子傳動鏈沿一平行于所述管道的軸向方向傳動時，所述第二子傳動鏈沿另一平行于所述管道的軸向方向反向傳動，以帶動所述刮削治具沿所述管道的軸向移動。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述驅(qū)動組件固定安裝于所述支架，所述驅(qū)動組件連接所述齒輪的一端伸入于所述傳送通道中，以使所述齒輪收容于所述傳送通道中。

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，其特征在于，所述刮削治具包括刮筒和連接頭，所述連接頭的一端固設(shè)于所述刮筒的外周面，所述連接頭遠離所述刮筒的一端穿過所述限位槽并連接所述傳動鏈，所述刮筒的兩端設(shè)有內(nèi)倒角。

10.一種晶圓生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，包括管道和如權(quán)利要求1至9中任一權(quán)利要求所述的管道堵塞物清除機構(gòu)，所述管道堵塞物清除機構(gòu)的刮削治具部分地收容于所述管道內(nèi)，并能夠沿所述管道的內(nèi)壁作往復(fù)直線運動，以刮除堵塞于所述管道內(nèi)的堵塞物。