[實(shí)用新型]一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220843642.8
• 申請(qǐng)日: 2022-04-12
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN217114401U
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 袁地;張靜;耿會(huì)娟;田俊龍;李勝楠
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安陽(yáng)師范學(xué)院
• 主分類號(hào): H01L29/786
• 分類號(hào): H01L29/786;H01L23/29;H01L29/51
• 代理公司: 北京智行陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11738
• 代理人: 彭逸峰

1.一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，包括柔性墊底板(1)，其特征在于：所述柔性墊底板(1)的頂端設(shè)置有氧化物有源層(6)，所述氧化物有源層(6)頂端的一側(cè)固定連接有源極(5)，所述氧化物有源層(6)頂端的另一側(cè)固定連接有第二金屬層(8)，所述源極(5)的頂端固定連接有第一金屬層(4)，所述第二金屬層(8)的頂端固定連接有漏極(7)；

所述氧化物有源層(6)的頂端固定連接有連接層(3)，所述連接層(3)的頂端固定連接有透明保護(hù)膜(2)，所述連接層(3)與第一金屬層(4)構(gòu)成固定連接，所述連接層(3)與漏極(7)構(gòu)成固定連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，其特征在于：所述柔性墊底板(1)的中心線與透明保護(hù)膜(2)的中心線在同一垂直面上，所述透明保護(hù)膜(2)的長(zhǎng)度等于柔性墊底板(1)的長(zhǎng)度。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，其特征在于：所述柔性墊底板(1)的頂端固定連接有柵極絕緣層(9)，所述柔性墊底板(1)的頂端固定連接有柵極本體(10)，所述柵極本體(10)與柵極絕緣層(9)構(gòu)成固定連接，所述柵極絕緣層(9)與氧化物有源層(6)構(gòu)成固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，其特征在于：所述柔性墊底板(1)的中心線與柵極本體(10)的中心線在同一垂直面上，所述柔性墊底板(1)的長(zhǎng)度等于柵極絕緣層(9)的長(zhǎng)度。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，其特征在于：所述透明保護(hù)膜(2)的中心線與柵極絕緣層(9)的中心線在同一垂直面上，所述透明保護(hù)膜(2)與柵極絕緣層(9)構(gòu)成固定連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，其特征在于：所述透明保護(hù)膜(2)的材質(zhì)為疏水材質(zhì)，所述柔性墊底板(1)的材質(zhì)為疏水材質(zhì)。