[實用新型]一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220843642.8
• 申請日: 2022-04-12
• 公開（公告）號: CN217114401U
• 公開（公告）日: 2022-08-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 袁地;張靜;耿會娟;田俊龍;李勝楠
• 申請（專利權(quán)）人: 安陽師范學(xué)院
• 主分類號: H01L29/786
• 分類號: H01L29/786;H01L23/29;H01L29/51
• 代理公司: 北京智行陽光知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11738
• 代理人: 彭逸峰

本實用新型公開了一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，包括柔性墊底板，所述柔性墊底板的頂端設(shè)置有氧化物有源層，所述氧化物有源層頂端的一側(cè)固定連接有源極，所述氧化物有源層頂端的另一側(cè)固定連接有第二金屬層，所述源極的頂端固定連接有第一金屬層。該基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管通過設(shè)置有透明保護膜，在加工該薄膜晶體管時，在兩側(cè)第一金屬層和漏極的頂端涂敷連接層，且在連接層的頂端貼敷透明保護膜，并使透明保護膜的兩側(cè)緊貼在柵極絕緣層的頂端，使透明保護膜將第一金屬層和漏極罩在底部，從而對底端的第一金屬層和漏極以及源極和第二金屬層進行保護，防止該薄膜晶體管上的組件受損，解決的是防護效果不足的問題。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及薄膜晶體管技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管。

背景技術(shù)

采用有源矩陣液晶顯示器與有源矩陣有機發(fā)光二極體的平板顯示器為了提高分辨率、屏幕面積與降低功耗方面等方面的問題，需要薄膜晶體管這一關(guān)鍵器件，但是現(xiàn)有的薄膜晶體管在使用中仍存在一些缺陷，自身的防護效果不足，易受到損傷，且絕緣效果不足，而且整體的疏水效果不足，所以現(xiàn)在需要一種新型的基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管來解決以上的不足。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，以解決上述背景技術(shù)中提出自身的防護效果不足的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：一種基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管，包括柔性墊底板，所述柔性墊底板的頂端設(shè)置有氧化物有源層，所述氧化物有源層頂端的一側(cè)固定連接有源極，所述氧化物有源層頂端的另一側(cè)固定連接有第二金屬層，所述源極的頂端固定連接有第一金屬層，所述第二金屬層的頂端固定連接有漏極；

所述氧化物有源層的頂端固定連接有連接層，所述連接層的頂端固定連接有透明保護膜，所述連接層與第一金屬層構(gòu)成固定連接，所述連接層與漏極構(gòu)成固定連接。

優(yōu)選的，所述柔性墊底板的中心線與透明保護膜的中心線在同一垂直面上，所述透明保護膜的長度等于柔性墊底板的長度。

優(yōu)選的，所述柔性墊底板的頂端固定連接有柵極絕緣層，所述柔性墊底板的頂端固定連接有柵極本體，所述柵極本體與柵極絕緣層構(gòu)成固定連接，所述柵極絕緣層與氧化物有源層構(gòu)成固定連接。

優(yōu)選的，所述柔性墊底板的中心線與柵極本體的中心線在同一垂直面上，所述柔性墊底板的長度等于柵極絕緣層的長度。

優(yōu)選的，所述透明保護膜的中心線與柵極絕緣層的中心線在同一垂直面上，所述透明保護膜與柵極絕緣層構(gòu)成固定連接。

優(yōu)選的，所述透明保護膜的材質(zhì)為疏水材質(zhì)，所述柔性墊底板的材質(zhì)為疏水材質(zhì)。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：該基于二維半導(dǎo)體材料薄膜晶體管不僅實現(xiàn)了提高整體的防護效果，實現(xiàn)了保證絕緣效果，而且實現(xiàn)了提高防水效果；

(1)通過設(shè)置有透明保護膜、連接層，在加工該薄膜晶體管時，在兩側(cè)第一金屬層和漏極的頂端涂敷連接層，且在連接層的頂端貼敷透明保護膜，并使透明保護膜的兩側(cè)緊貼在柵極絕緣層的頂端，使透明保護膜將第一金屬層和漏極罩在底部，從而對底端的第一金屬層和漏極以及源極和第二金屬層進行保護，防止該薄膜晶體管上的組件受損，實現(xiàn)了可以對該薄膜晶體管內(nèi)部的重要組件進行防護，從而提高薄膜晶體管的使用壽命；

(2)通過設(shè)置有柔性墊底板、柵極絕緣層和柵極本體，在加工時，在該薄膜晶體管的柔性墊底板和氧化物有源層之間固定有柵極絕緣層，柵極絕緣層貼合在柔性墊底板頂端的同時，并對柵極本體進行固定，同時保證該薄膜晶體管的絕緣需求，防止該薄膜晶體管在運行時出現(xiàn)意外的漏電現(xiàn)象，從而保證該薄膜晶體管運行時的穩(wěn)定性，實現(xiàn)了可以保證該薄膜晶體管的絕緣需求，防止出現(xiàn)漏電現(xiàn)象；