[實(shí)用新型]一種爐蓋裝置及具有該裝置的半導(dǎo)體燒結(jié)爐

有效

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• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN217275577U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊華;楊軍
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市卓興精密設(shè)備有限公司
• 主分類號: F27B21/08
• 分類號: F27B21/08;F27D1/18
• 代理公司: 深圳市添源創(chuàng)鑫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44855
• 代理人: 陳華興

本實(shí)用新型提供了一種爐蓋裝置，包括吊機(jī)、爐蓋主體和位于所述爐蓋主體左右兩端的爐蓋側(cè)封組件，所述爐蓋主體的后端通過合頁與燒結(jié)平臺旋轉(zhuǎn)連接，所述爐蓋主體的前端設(shè)有爐蓋吊升組件，所述吊機(jī)通過吊機(jī)鋼繩與所述爐蓋吊升組件連接，所述爐蓋側(cè)封組件包括側(cè)蓋板、Z向密封側(cè)板和驅(qū)動(dòng)所述Z向密封側(cè)板進(jìn)行Z向升降的Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在所述側(cè)蓋板上。本實(shí)用新型的有益效果是：一方面，可通過吊機(jī)來控制爐蓋主體的開合，避免了人工操作容易燙傷的問題；另一方面，在關(guān)閉狀態(tài)下，可通過爐蓋側(cè)封組件進(jìn)行密封，以防止熱量和氮?dú)獾牧魇А?/p>

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及爐蓋，尤其涉及一種爐蓋裝置及具有該裝置的半導(dǎo)體燒結(jié)爐。

背景技術(shù)

現(xiàn)有的半導(dǎo)體燒結(jié)爐的爐蓋為手動(dòng)開合，由于燒結(jié)溫度較高，手動(dòng)開合存在燙傷風(fēng)險(xiǎn)，并且，現(xiàn)有的爐蓋在關(guān)閉之后，會(huì)出現(xiàn)熱量和氮?dú)饬魇У那闆r。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型提供了一種爐蓋裝置及具有該裝置的半導(dǎo)體燒結(jié)爐。

本實(shí)用新型提供了一種爐蓋裝置，包括吊機(jī)、爐蓋主體和位于所述爐蓋主體左右兩端的爐蓋側(cè)封組件，所述爐蓋主體的后端通過合頁與燒結(jié)平臺旋轉(zhuǎn)連接，所述爐蓋主體的前端設(shè)有爐蓋吊升組件，所述吊機(jī)通過吊機(jī)鋼繩與所述爐蓋吊升組件連接，所述爐蓋側(cè)封組件包括側(cè)蓋板、Z向密封側(cè)板和驅(qū)動(dòng)所述Z向密封側(cè)板進(jìn)行Z向升降的Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝在所述側(cè)蓋板上，所述Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與所述Z向密封側(cè)板連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述側(cè)蓋板的內(nèi)側(cè)與所述爐蓋主體貼合連接，所述側(cè)蓋板的外側(cè)與所述Z向密封側(cè)板緊密貼合。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述Z向密封側(cè)板升降驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸、側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸安裝板和隔熱板，所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸安裝在所述隔熱板上，所述隔熱板安裝在所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸安裝板上，所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸安裝板安裝在所述側(cè)蓋板上，所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸與所述Z向密封側(cè)板連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸安裝板為L型。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述Z向密封側(cè)板上設(shè)有卡槽，所述側(cè)板驅(qū)動(dòng)氣缸連接有氣缸外接拉件，所述氣缸外接拉件與所述卡槽為卡扣連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述側(cè)蓋板與所述Z向密封側(cè)板通過Z向?qū)驒C(jī)構(gòu)連接。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述爐蓋裝置包括固定在外殼的鋼繩吊件，所述吊機(jī)鋼繩穿過所述鋼繩吊件。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述爐蓋裝置包括安裝在燒結(jié)平臺兩側(cè)的水平布置的密封側(cè)板，在關(guān)閉狀態(tài)下，所述Z向密封側(cè)板緊貼在所述密封側(cè)板上。

本實(shí)用新型還提供了一種具有爐蓋裝置的半導(dǎo)體燒結(jié)爐，包括如上述中任一項(xiàng)所述的爐蓋裝置。

本實(shí)用新型的有益效果是：對爐蓋進(jìn)行了改進(jìn)，一方面，可通過吊機(jī)來控制爐蓋主體的開合，避免了人工操作容易燙傷的問題；另一方面，在關(guān)閉狀態(tài)下，可通過爐蓋側(cè)封組件進(jìn)行密封，以防止熱量和氮?dú)獾牧魇А?/p>

附圖說明

為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其它的方案。

圖1是本實(shí)用新型一種爐蓋裝置的裝配示意圖。

圖2是本實(shí)用新型一種爐蓋裝置的示意圖。

圖3是本實(shí)用新型一種爐蓋裝置的爐蓋側(cè)封組件的示意圖。

圖4是本實(shí)用新型一種爐蓋裝置的爐蓋側(cè)封組件的另一視角的示意圖。