[實用新型]一種爐蓋裝置及具有該裝置的半導體燒結爐

有效

• 申請號: 202220840124.0
• 申請日: 2022-04-13
• 公開（公告）號: CN217275577U
• 公開（公告）日: 2022-08-23
• 發明（設計）人: 楊華;楊軍
• 申請（專利權）人: 深圳市卓興精密設備有限公司
• 主分類號: F27B21/08
• 分類號: F27B21/08;F27D1/18
• 代理公司: 深圳市添源創鑫知識產權代理有限公司 44855
• 代理人: 陳華興

1.一種爐蓋裝置，其特征在于：包括吊機、爐蓋主體和位于所述爐蓋主體左右兩端的爐蓋側封組件，所述爐蓋主體的后端通過合頁與燒結平臺旋轉連接，所述爐蓋主體的前端設有爐蓋吊升組件，所述吊機通過吊機鋼繩與所述爐蓋吊升組件連接，所述爐蓋側封組件包括側蓋板、Z向密封側板和驅動所述Z向密封側板進行Z向升降的Z向密封側板升降驅動機構，所述Z向密封側板升降驅動機構安裝在所述側蓋板上，所述Z向密封側板升降驅動機構與所述Z向密封側板連接。

2.根據權利要求1所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述側蓋板的內側與所述爐蓋主體貼合連接，所述側蓋板的外側與所述Z向密封側板緊密貼合。

3.根據權利要求1所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述Z向密封側板升降驅動機構包括側板驅動氣缸、側板驅動氣缸安裝板和隔熱板，所述側板驅動氣缸安裝在所述隔熱板上，所述隔熱板安裝在所述側板驅動氣缸安裝板上，所述側板驅動氣缸安裝板安裝在所述側蓋板上，所述側板驅動氣缸與所述Z向密封側板連接。

4.根據權利要求3所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述側板驅動氣缸安裝板為L型。

5.根據權利要求3所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述Z向密封側板上設有卡槽，所述側板驅動氣缸連接有氣缸外接拉件，所述氣缸外接拉件與所述卡槽為卡扣連接。

6.根據權利要求1所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述側蓋板與所述Z向密封側板通過Z向導向機構連接。

7.根據權利要求1所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述爐蓋裝置包括固定在外殼的鋼繩吊件，所述吊機鋼繩穿過所述鋼繩吊件。

8.根據權利要求1所述的爐蓋裝置，其特征在于：所述爐蓋裝置包括安裝在燒結平臺兩側的水平布置的密封側板，在關閉狀態下，所述Z向密封側板緊貼在所述密封側板上。

9.一種具有爐蓋裝置的半導體燒結爐，其特征在于：包括如權利要求1至8中任一項所述的爐蓋裝置。