[實(shí)用新型]一種藍(lán)寶石晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202220827514.4
• 申請(qǐng)日: 2022-04-11
• 公開（公告）號(hào): CN217123604U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫濤濤;吳拓
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 三河市益盈鼎裕科技有限公司
• 主分類號(hào): B28D5/00
• 分類號(hào): B28D5/00
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本實(shí)用新型提供了一種藍(lán)寶石晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備，包括操作室，操作室內(nèi)部劃分有陶瓷盤放置區(qū)、機(jī)械搬運(yùn)區(qū)和自動(dòng)鏟片區(qū),陶瓷盤放置區(qū)上設(shè)有放置機(jī)構(gòu),機(jī)械搬運(yùn)區(qū)上設(shè)有搬運(yùn)機(jī)器人，自動(dòng)鏟片區(qū)上設(shè)有鏟片裝置，放置機(jī)構(gòu)包括有放置架，放置架底部連接設(shè)置有移動(dòng)小車,移動(dòng)小車底部設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)，放置架上劃分有陶瓷盤料物放置區(qū)，鏟片裝置包括有支撐架，支撐架上設(shè)有操作臺(tái)，操作臺(tái)上設(shè)有鏟片機(jī)構(gòu)，鏟片機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有晶圓收集機(jī)構(gòu)，晶圓收集機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有卡塞移裁機(jī)構(gòu)，鏟片機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離晶圓收集機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)有定心找原點(diǎn)機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型設(shè)計(jì)一體化流水作業(yè)，機(jī)械化代替人工，大大的節(jié)省人工勞動(dòng)強(qiáng)度、提高鏟片作業(yè)效率，使搬運(yùn)、鏟片、收集一體化完成。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型主要涉及晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備的技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種藍(lán)寶石晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備。

背景技術(shù)

晶圓是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅。硅晶棒在經(jīng)過(guò)研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓。

目前在藍(lán)寶石晶圓鏟片、卡塞收集一系列的作業(yè)都是由人工完成，人工作業(yè)費(fèi)時(shí)費(fèi)力、效率低并且容易出錯(cuò)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型主要提供了一種藍(lán)寶石晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備，用以解決上述背景技術(shù)中提出的技術(shù)問題。

本實(shí)用新型解決上述技術(shù)問題采用的技術(shù)方案為：

一種藍(lán)寶石晶圓自動(dòng)鏟片設(shè)備，包括操作室，所述操作室內(nèi)部劃分有陶瓷盤放置區(qū)、機(jī)械搬運(yùn)區(qū)和自動(dòng)鏟片區(qū),所述陶瓷盤放置區(qū)上設(shè)置有放置機(jī)構(gòu),所述機(jī)械搬運(yùn)區(qū)上設(shè)置有搬運(yùn)機(jī)器人，所述自動(dòng)鏟片區(qū)上設(shè)置有鏟片裝置。

進(jìn)一步的，所述放置機(jī)構(gòu)包括有放置架，所述放置架底部連接設(shè)置有移動(dòng)小車,所述移動(dòng)小車底部設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)，所述放置架上劃分有陶瓷盤料物放置區(qū)。

進(jìn)一步的，所述鏟片裝置位于所述放置機(jī)構(gòu)一側(cè)，所述鏟片裝置包括有支撐架，所述支撐架上設(shè)置有操作臺(tái)，所述操作臺(tái)上設(shè)置有鏟片機(jī)構(gòu)，所述鏟片機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有晶圓收集機(jī)構(gòu)，所述晶圓收集機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有卡塞移裁機(jī)構(gòu)，所述鏟片機(jī)構(gòu)遠(yuǎn)離晶圓收集機(jī)構(gòu)一側(cè)設(shè)置有定心找原點(diǎn)機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述放置架一側(cè)外壁上連接設(shè)置有控制面板，所述控制面板內(nèi)部設(shè)置有控制器，所述控制面板與控制器通過(guò)導(dǎo)線相連接。

進(jìn)一步的，位于所述卡塞移裁機(jī)構(gòu)一側(cè)操作臺(tái)上設(shè)置有出料輸送機(jī)構(gòu)。

進(jìn)一步的，所述行走機(jī)構(gòu)包括有行走輪，所述行走輪共設(shè)有四個(gè)，每個(gè)所述行走輪頂部依次與所述移動(dòng)小車四周底部相連接。

進(jìn)一步的，所述控制器與外部電源相連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人進(jìn)行搬運(yùn)，大大的節(jié)省人工勞動(dòng)強(qiáng)度，分區(qū)域進(jìn)行流水化作業(yè)，提高鏟片作業(yè)效率，使原本搬運(yùn)、鏟片、收集全部一體化完成。

以下將結(jié)合附圖與具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)的解釋說(shuō)明。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的軸測(cè)圖；

圖2為本實(shí)用新型的整體示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的俯視圖；

圖4為本實(shí)用新型的控制器軸測(cè)圖。

圖中：101、操作室；1、陶瓷盤放置區(qū)；11、放置機(jī)構(gòu)；111、放置架；112、陶瓷盤料物放置區(qū)；113、移動(dòng)小車；1131、行走機(jī)構(gòu)；1132、行走輪；2、機(jī)械搬運(yùn)區(qū)；21、搬運(yùn)機(jī)器人；3、自動(dòng)鏟片區(qū)；31、鏟片裝置；311、支撐架；312、操作臺(tái)；313、鏟片機(jī)構(gòu)；314、晶圓收集機(jī)構(gòu)；315、定心找原點(diǎn)機(jī)構(gòu)；316、卡塞移裁機(jī)構(gòu)；318、出料輸送機(jī)構(gòu)；4、控制面板；41、控制器。