[實用新型]一種藍寶石晶圓自動鏟片設備

有效

• 申請號: 202220827514.4
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN217123604U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 孫濤濤;吳拓
• 申請（專利權）人: 三河市益盈鼎裕科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，包括操作室(101)，其特征在于，所述操作室(101)內部劃分有陶瓷盤放置區(1)、機械搬運區(2)和自動鏟片區(3),所述陶瓷盤放置區(1)上設置有放置機構(11),所述機械搬運區(2)上設置有搬運機器人(21)，所述自動鏟片區(3)上設置有鏟片裝置(31)。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，所述放置機構(11)包括有放置架(111)，所述放置架(111)底部連接設置有移動小車(113),所述移動小車(113)底部設置有行走機構(1131)，所述放置架(111)上劃分有陶瓷盤料物放置區(112)。

3.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，所述鏟片裝置(31)位于所述放置機構(11)一側，所述鏟片裝置(31)包括有支撐架(311)，所述支撐架(311)上設置有操作臺(312)，所述操作臺(312)上設置有鏟片機構(313)，所述鏟片機構(313)一側設置有晶圓收集機構(314)，所述晶圓收集機構(314)一側設置有卡塞移裁機構(316)，所述鏟片機構(313)遠離晶圓收集機構(314)一側設置有定心找原點機構(315)。

4.根據權利要求2所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，所述放置架(111)一側外壁上連接設置有控制面板(4)，所述控制面板(4)內部設置有控制器(41)，所述控制面板(4)與控制器(41)通過導線相連接。

5.根據權利要求3所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，位于所述卡塞移裁機構(316)一側操作臺(312)上設置有出料輸送機構(318)。

6.根據權利要求2所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，所述行走機構(1131)包括有行走輪(1132)，所述行走輪(1132)共設有四個，每個所述行走輪(1132)頂部依次與所述移動小車(113)四周底部相連接。

7.根據權利要求4所述的一種藍寶石晶圓自動鏟片設備，其特征在于，所述控制器(41)與外部電源相連接。