[實用新型]一種單晶硅片擺盤機

有效

• 申請號: 202220820782.3
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN217229416U
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 呂明;郭城;李充;王永超;石秀花;王華
• 申請（專利權）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G65/32
• 代理公司: 山東瑞宸知識產權代理有限公司 37268
• 代理人: 杜超

本實用新型公開了一種單晶硅片擺盤機，包括桌板，所述桌板下表面四個角均固定有支撐腳，所述桌板上表面一側固定有X軸移動機構，所述X軸移動機構頂端設有立柱。本實用新型中，設置有桌板、X軸移動機構、立柱、Y軸移動機構、氣缸、移動盤、吸盤、抽氣泵和送料機構，從而可以通過X軸移動機構帶動立柱和Y軸移動機構在X軸方向上移動，然后通過Y軸移動機構帶動氣缸和吸盤在Y軸方向上移動，由此實現氣泵和吸盤在X軸和Y軸方向的自由移動，再由氣缸帶動吸盤下降對硅片進行抓取，最后通過X軸移動機構和Y軸移動機構的協作將硅片擺在傳送設備的托盤表面，該擺盤機完全實現自動化擺盤，降低工人勞動強度。

技術領域

本實用新型涉及單晶硅片生產技術領域，尤其涉及一種單晶硅片擺盤機。

背景技術

單晶硅片是硅的單晶體，是一種具有基本完整的點陣結構的晶體，不同的方向具有不同的性質，是一種良好的半導材料，純度要求達到99.9999%，甚至達到99.9999999%以上，用于制造半導體器件、太陽能電池等，用高純度的多晶硅在單晶爐內拉制而成。

單晶硅片在生產完成后需要將其擺放在傳送設備表面的托盤里，然后進行檢測，而目前單晶硅片的擺放工作依舊依靠人工完成，人工擺盤拿取硅片時，容易誤傷硅片，且人工勞動強度大，因此本實用新型提出一種單晶硅片擺盤機。

實用新型內容

本實用新型的目的是為了解決現有技術中存在的缺點，而提出的一種單晶硅片擺盤機。

為了實現上述目的，本實用新型采用了如下技術方案：一種單晶硅片擺盤機，包括桌板，所述桌板下表面四個角均固定有支撐腳，所述桌板上表面一側固定有X軸移動機構，所述X軸移動機構頂端設有立柱，所述立柱頂端固定有Y軸移動機構，所述Y軸移動機構底端設有氣缸，所述氣缸底部伸縮端固定有移動盤，所述移動盤下表面設有多個吸盤，所述桌板中部遠離X軸移動機構一側嵌設有送料機構。

進一步的，所述氣缸側壁固定有抽氣泵，所述抽氣泵抽吸口連接有多個連接管，且多個連接管另一端分別與多個吸盤連接，從而可以通過氣缸帶動移動盤下降對晶片進行吸附抓取。

進一步的，所述Y軸移動機構包括第二滑軌，且第二滑軌遠離立柱的一端延伸出桌板，所述第二滑軌底部凹槽內轉動連接有第二絲桿，所述第二絲桿表面螺紋轉動連接有第二滑塊，且第二滑塊與第二滑軌底部凹槽滑動連接，所述第二滑軌外側壁固定連接有第二電機，所述第二絲桿一端與第二電機驅動端固定連接，所述第二滑塊下表面與氣缸頂端固定連接，從而通過第二電機帶動第二絲桿轉動，使得第二滑塊帶動氣缸以及吸盤在Y軸方向上移動。

進一步的，所述X軸移動機構包括第一滑軌，且第一滑軌頂部凹槽內轉動連接有第一絲桿，所述第一絲桿表面螺紋轉動連接有第一滑塊，且第一滑塊與第一滑軌頂部凹槽滑動連接，所述第一滑軌外側壁固定連接有第一電機，所述第一絲桿一端與第一電機驅動端固定連接，所述第一滑塊上表面與立柱底端固定連接，從而可以通過第一電機帶動第一絲桿轉動，使得第一滑塊帶動立柱以及Y軸移動機構在X軸方向上移動，進而實現氣缸以及吸盤在X軸方向上移動。

進一步的，所述送料機構包括料斗，所述料斗頂端和遠離X軸移動機構一側均為敞開設計，所述料斗底部固定有電動伸縮桿，所述電動伸縮桿頂部伸縮端穿過料斗底壁并固定連接有升降板，所述升降板表面設有堆疊的晶片，可以通過電動伸縮桿帶動升降板不斷上升，使得升降板表面的晶片始終處于取料位置。

進一步的，所述料斗頂端設有頂側板，且頂側板下表面固定有接觸開關，所述桌板上表面設有報警器，且報警器與接觸開關電性連接，當升降板上升與接觸開關接觸后，說明升降板表面的晶片已經被抓取完，此時需要報警器響起，提醒工人重新在升降板表面添加晶片。

本實用新型的有益效果：