[實用新型]一種單晶硅片擺盤機

有效

• 申請號: 202220820782.3
• 申請日: 2022-04-11
• 公開（公告）號: CN217229416U
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 呂明;郭城;李充;王永超;石秀花;王華
• 申請（專利權）人: 山東科芯電子有限公司
• 主分類號: B65G47/91
• 分類號: B65G47/91;B65G65/32
• 代理公司: 山東瑞宸知識產權代理有限公司 37268
• 代理人: 杜超

1.一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：包括桌板（1），所述桌板（1）下表面四個角均固定有支撐腳（2），所述桌板（1）上表面一側固定有X軸移動機構（3），所述X軸移動機構（3）頂端設有立柱（4），所述立柱（4）頂端固定有Y軸移動機構（5），所述Y軸移動機構（5）底端設有氣缸（6），所述氣缸（6）底部伸縮端固定有移動盤（7），所述移動盤（7）下表面設有多個吸盤（8），所述桌板（1）中部遠離X軸移動機構（3）一側嵌設有送料機構（11）。

2.根據權利要求1所述的一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：所述氣缸（6）側壁固定有抽氣泵（9），所述抽氣泵（9）抽吸口連接有多個連接管（10），且多個連接管（10）另一端分別與多個吸盤（8）連接。

3.根據權利要求1所述的一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：所述Y軸移動機構（5）包括第二滑軌（51），且第二滑軌（51）遠離立柱（4）的一端延伸出桌板（1），所述第二滑軌（51）底部凹槽內轉動連接有第二絲桿（52），所述第二絲桿（52）表面螺紋轉動連接有第二滑塊（53），且第二滑塊（53）與第二滑軌（51）底部凹槽滑動連接，所述第二滑軌（51）外側壁固定連接有第二電機（54），所述第二絲桿（52）一端與第二電機（54）驅動端固定連接，所述第二滑塊（53）下表面與氣缸（6）頂端固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：所述X軸移動機構（3）包括第一滑軌（31），且第一滑軌（31）頂部凹槽內轉動連接有第一絲桿（32），所述第一絲桿（32）表面螺紋轉動連接有第一滑塊（33），且第一滑塊（33）與第一滑軌（31）頂部凹槽滑動連接，所述第一滑軌（31）外側壁固定連接有第一電機（34），所述第一絲桿（32）一端與第一電機（34）驅動端固定連接，所述第一滑塊（33）上表面與立柱（4）底端固定連接。

5.根據權利要求1所述的一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：所述送料機構（11）包括料斗（111），所述料斗（111）頂端和遠離X軸移動機構（3）一側均為敞開設計，所述料斗（111）底部固定有電動伸縮桿（113），所述電動伸縮桿（113）頂部伸縮端穿過料斗（111）底壁并固定連接有升降板（112），所述升降板（112）表面設有堆疊的晶片。

6.根據權利要求5所述的一種單晶硅片擺盤機，其特征在于：所述料斗（111）頂端設有頂側板（114），且頂側板（114）下表面固定有接觸開關（115），所述桌板（1）上表面設有報警器（12），且報警器（12）與接觸開關（115）電性連接。