[實用新型]一種拋光液自動配液裝置

有效

• 申請號: 202220781791.6
• 申請日: 2022-04-06
• 公開（公告）號: CN217120141U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 趙元亞;蔣七敏;吳瓊瓊;崔思遠
• 申請（專利權）人: 江西兆馳半導體有限公司
• 主分類號: B01F35/71
• 分類號: B01F35/71;B01F35/221;B01F35/60;B01F101/58
• 代理公司: 南昌旭瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 36150
• 代理人: 彭琰

本實用新型提供一種拋光液自動配液裝置，包括攪拌桶和第一攪拌器，補液機構，包括補液桶和第一蠕動泵，補液桶用于容納拋光原液，第一蠕動泵分別連接補液桶和攪拌桶；調節機構，包括調液桶和第二蠕動泵，調液桶用于容納PH調節液，第二蠕動泵分別連接調液桶和攪拌桶。本實用新型中的拋光液自動配液裝置，通過蠕動泵分別將拋光原液和PH調節液抽取排入攪拌桶中，并通過攪拌器將拋光原液和PH調節液混合攪拌均勻，避免了人工手動添加PH調節液的風險，且通過蠕動泵自動抽取液體提高了拋光液配置效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體技術領域，特別涉及一種拋光液自動配液裝置。

背景技術

藍寶石晶片是加工藍光二極管的主要基板材料。藍寶石晶片在雙面研磨之后，再經過退火去應力處理，接下來會將晶片的其中一個平面貼在陶瓷盤上進行單面CMP化學拋光，行業內目前大多數采用二氧化硅磨料基材的拋光液進行拋光，因為二氧化硅拋光液使用過程中，移除速率較低，拋光液結晶嚴重，硬度極高的結晶物質會造成拋光后晶片表面劃痕，結晶也會造成環境污染，清理清潔也非常困難，部分廠家開始采用氧化鋁磨料基材的拋光液來取代二氧化硅拋光液。

氧化鋁拋光液為水基混合液，包含氧化鋁磨料微粉、分散劑、增稠劑、潤滑劑、PH調節劑，表面活性劑等材料，其中固化物一般占比20％，去離子水占比80％，拋光液中固化物容易沉淀，造成拋光液濃度不均勻，拋光移除率和拋光品質不穩定的問題，為使拋光液保持濃度均勻，在使用前拋光液需充分攪拌均勻，并且在拋光液供給過程中也需保持攪拌狀態。

現有技術中，氧化鋁拋光液使用過程中需每次添加適量的堿性液體來調配 PH，一般需將PH值調整到10-12之間，以此達到增強化學反應，增加移除率的功效，目前行業內普遍采用固態或者液態的氫氧化鉀作為PH堿性調配液體，配制過程均為手動添加，因為氫氧化鉀有強烈的腐蝕性，操作過程中很容易濺落到人體皮膚上造成人員傷害，作業安全風險較大，同時因為每次配液，人員作業頻繁，效率低下，人工成本較高。

實用新型內容

基于此，本實用新型的目的是提供一種拋光液自動配液裝置，解決背景技術中由人工配置拋光液導致安全風險較大和效率低的問題。

本實用新型提供一種拋光液自動配液裝置，包括：

混合攪拌機構，包括攪拌桶和第一攪拌器，第一攪拌器包括設于攪拌桶上方的第一攪拌電機和設于攪拌桶內部并與第一攪拌電機連接的第一攪拌軸；

補液機構，包括補液桶和第一蠕動泵，補液桶用于容納拋光原液，第一蠕動泵上設有第一進液管和第一出液管，第一進液管和第一出液管分別連接補液桶和攪拌桶；

調節機構，包括調液桶和第二蠕動泵，調液桶用于容納PH調節液，第二蠕動泵上設有第二進液管和第二出液管，第二進液管和第二出液管分別連接調液桶和攪拌桶。

本實用新型上述實施例當中的拋光液自動配液裝置，通過設置混合攪拌機構，包括攪拌桶和第一攪拌器；補液機構，包括補液桶和第一蠕動泵，調節機構，包括調液桶和第二蠕動泵，通過蠕動泵分別將拋光原液和PH調節液抽取排入攪拌桶中，并通過攪拌器將拋光原液和PH調節液混合攪拌均勻，避免了人工手動添加PH調節液的風險，且通過蠕動泵自動抽取液體提高了配置效率，解決了背景技術中由人工配置拋光液導致安全風險較大和效率低的問題。

進一步的，攪拌桶上設有第一進液口和第二進液口，第一出液管與第一進液口連接，第二出液管與第二進液口連接。

進一步的，裝置還包括輸送機構，輸送機構包括輸送泵，輸送泵上設有輸送管，攪拌桶上設有與輸送管連接的輸送管接頭，輸送泵用于抽取攪拌桶中的液體并輸送至拋光設備。

進一步的，攪拌軸上設有多個葉片。

進一步的，攪拌桶上設有回流槽，回流槽上設有多個過濾孔，回流槽用于容納經拋光設備使用后回流的拋光液。