[實用新型]一種拋光液自動配液裝置

有效

• 申請號: 202220781791.6
• 申請日: 2022-04-06
• 公開（公告）號: CN217120141U
• 公開（公告）日: 2022-08-05
• 發明（設計）人: 趙元亞;蔣七敏;吳瓊瓊;崔思遠
• 申請（專利權）人: 江西兆馳半導體有限公司
• 主分類號: B01F35/71
• 分類號: B01F35/71;B01F35/221;B01F35/60;B01F101/58
• 代理公司: 南昌旭瑞知識產權代理事務所(普通合伙) 36150
• 代理人: 彭琰

1.一種拋光液自動配液裝置，其特征在于，包括：

混合攪拌機構，包括攪拌桶和第一攪拌器，所述第一攪拌器包括設于所述攪拌桶上方的第一攪拌電機和設于所述攪拌桶內部并與所述第一攪拌電機連接的第一攪拌軸；

補液機構，包括補液桶和第一蠕動泵，所述補液桶用于容納拋光原液，所述第一蠕動泵上設有第一進液管和第一出液管，所述第一進液管和所述第一出液管分別連接所述補液桶和所述攪拌桶；

調節機構，包括調液桶和第二蠕動泵，所述調液桶用于容納PH調節液，第二蠕動泵上設有第二進液管和第二出液管，所述第二進液管和所述第二出液管分別連接所述調液桶和所述攪拌桶。

2.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌桶上設有第一進液口和第二進液口，所述第一出液管與所述第一進液口連接，所述第二出液管與所述第二進液口連接。

3.根據權利要求2所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述裝置還包括輸送機構，所述輸送機構包括輸送泵，所述輸送泵上設有輸送管，所述攪拌桶上設有與所述輸送管連接的輸送管接頭，所述輸送泵用于抽取所述攪拌桶中的液體并輸送至拋光設備。

4.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌軸上設有多個葉片。

5.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌桶上設有回流槽，所述回流槽上設有多個過濾孔，所述回流槽用于容納經拋光設備使用后回流的拋光液。

6.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述補液桶上設有第二攪拌器，所述第二攪拌器包括設于所述補液桶上方的第二攪拌電機和設于所述補液桶內部并與所述第二攪拌電機連接的第二攪拌軸。

7.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌桶的外圈設有空心冷卻罐，所述空心冷卻罐上設有冷卻水的進水口和出水口。

8.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌桶上設有溫度感應器。

9.根據權利要求3所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述裝置還包括泵支撐架上，所述第一蠕動泵、所述第二蠕動泵以及所述輸送泵均設于所述泵支撐架上。

10.根據權利要求1所述的拋光液自動配液裝置，其特征在于，所述攪拌桶上設有純水進水閥和開關水閥，所述純水進水閥用于接入純水，所述開關水閥用于排出所述攪拌桶內的液體。