[實用新型]用于晶圓片架的載具

有效

• 申請號: 202220742133.6
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN217405378U
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發明（設計）人: 邱摩西;劉汝拯;陳松平;何江波
• 申請（專利權）人: 義柏科技（深圳）有限公司;天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 深圳市瑞方達知識產權事務所(普通合伙) 44314
• 代理人: 沈紅曼

本實用新型涉及用于晶圓片架的載具，包括盒體以及蓋合結構；所述盒體包括容置晶圓片架的容置腔以及與所述容置腔連通的開口；所述蓋合結構可開合設置于所述開口處，所述蓋合結構包括底蓋、與底蓋裝配的蓋板、以及設置于所述底蓋和所述蓋板之間用于與所述盒體鎖合的鎖緊機構；所述鎖緊機構上設置有標識構件，用于標識所述鎖緊機構與所述盒體之間的配合狀態；所述底蓋上設有與所述標識構件對應設置的窗口，以供操作人員透過所述窗口識讀所述標識構件。該用于晶圓片架的載具可透過該窗口識讀標識構件，進而知悉該蓋合結構與該盒體之間是鎖緊還是解鎖狀態，從而可減少操作人員失誤事故的發生，進而可起到保護載具和晶圓的作用。

技術領域

本實用新型涉及晶圓儲存裝置，更具體地說，涉及一種用于晶圓片架的載具。

背景技術

目前市場上的用于晶圓片架的載具，一個規格的載具只能裝一種規格的盒體。這種結構存在以下缺點：沒有明顯標識，不易辨別載具的盒體和蓋合結構是處于鎖緊狀態還是解鎖狀態，因此容易導致操作人員誤操作從而損壞載具和晶圓。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題在于，提供一種改進的用于晶圓片架的載具。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：構造一種用于晶圓片架的載具，包括盒體以及蓋合結構；

所述盒體包括容置晶圓片架的容置腔以及與所述容置腔連通的開口；

所述蓋合結構可開合設置于所述開口處，所述蓋合結構包括底蓋、與底蓋裝配的蓋板、以及設置于所述底蓋和所述蓋板之間用于與所述盒體鎖合的鎖緊機構；

所述鎖緊機構上設置有標識構件，用于標識所述鎖緊機構與所述盒體之間的配合狀態；

所述底蓋上設有與所述標識構件對應設置的窗口，以供操作人員透過所述窗口識讀所述標識構件。

在一些實施例中，所述鎖緊機構包括可轉動設置的轉盤、以及伸縮板，所述伸縮板與所述轉盤連接由所述轉盤轉動做往復運動從所述底蓋的側壁穿出與所述盒體鎖合；

所述標識構件設置于所述伸縮板上。

在一些實施例中，所述伸縮板上包括主體部，所述主體部上設有滑動塊；

所述標識構件設置于所述滑動塊上。

在一些實施例中，所述滑動塊包括第一滑動塊以及第二滑動塊；

所述第一滑動塊和所述第二滑動塊在所述伸縮板的伸縮方向上前后設置；

所述標識構件包括標識鎖緊狀態的第一標識構件以及標識解鎖狀態的第二標識構件；

所述第一標識構件和所述第二標識構件分別設置于所述第一滑動塊以及所述第二滑動塊上；

所述窗口包括與所述第一標識構件和所述第二標識構件對應設置的第一窗口和第二窗口；

所述第一窗口和所述第二窗口上設有第一透明密封結構。

在一些實施例中，所述伸縮板包括連接部以及鎖舌；

所述連接部設置于所述主體部的一端，且與所述轉盤連接；

所述鎖舌設置于所述主體部的另一端且可從所述底蓋的側壁穿出設置。

在一些實施例中，所述盒體的側壁上設置有與所述鎖舌配合的鎖位。

在一些實施例中，所述轉盤包括盤體、設置于所述盤體上的轉軸以及設置于所述盤體上且與所述轉軸連接的聯接軸；

所述連接部上設有與所述聯接軸配合的連接卡口。

在一些實施例中，所述底蓋上設有對所述轉盤進行限位的第一限位結構，所述轉盤上設有與所述蓋板配合的第一耐磨結構；