[實(shí)用新型]用于晶圓片架的載具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202220742133.6
• 申請日: 2022-03-31
• 公開（公告）號: CN217405378U
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 邱摩西;劉汝拯;陳松平;何江波
• 申請（專利權(quán)）人: 義柏科技（深圳）有限公司;天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L21/677
• 代理公司: 深圳市瑞方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44314
• 代理人: 沈紅曼

1.一種用于晶圓片架的載具，其特征在于，包括盒體(1)以及蓋合結(jié)構(gòu)(2)；

所述盒體(1)包括容置晶圓片架的容置腔(115)以及與所述容置腔(115)連通的開口(110)；

所述蓋合結(jié)構(gòu)(2)可開合設(shè)置于所述開口(110)處，所述蓋合結(jié)構(gòu)(2)包括底蓋(21)、與底蓋(21)裝配的蓋板(23)、以及設(shè)置于所述底蓋(21)和所述蓋板(23)之間用于與所述盒體(1)鎖合的鎖緊機(jī)構(gòu)(22)；

所述鎖緊機(jī)構(gòu)(22)上設(shè)置有標(biāo)識構(gòu)件(224)，用于標(biāo)識所述鎖緊機(jī)構(gòu)(22)與所述盒體(1)之間的配合狀態(tài)；

所述底蓋(21)上設(shè)有與所述標(biāo)識構(gòu)件(224)對應(yīng)設(shè)置的窗口(214)，以供操作人員透過所述窗口(214)識讀所述標(biāo)識構(gòu)件(224)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述鎖緊機(jī)構(gòu)(22)包括可轉(zhuǎn)動設(shè)置的轉(zhuǎn)盤(221)、以及伸縮板(222)，所述伸縮板(222)與所述轉(zhuǎn)盤(221)連接由所述轉(zhuǎn)盤(221)轉(zhuǎn)動做往復(fù)運(yùn)動從所述底蓋(21)的側(cè)壁穿出與所述盒體(1)鎖合；

所述標(biāo)識構(gòu)件(224)設(shè)置于所述伸縮板(222)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述伸縮板(222)上包括主體部(222a)，所述主體部(222a)上設(shè)有滑動塊(223)；

所述標(biāo)識構(gòu)件(224)設(shè)置于所述滑動塊(223)上。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述滑動塊(223)包括第一滑動塊(223a)以及第二滑動塊(223b)；

所述第一滑動塊(223a)和所述第二滑動塊(223b)在所述伸縮板(222)的伸縮方向上前后設(shè)置；

所述標(biāo)識構(gòu)件(224)包括標(biāo)識鎖緊狀態(tài)的第一標(biāo)識構(gòu)件(224a)以及標(biāo)識解鎖狀態(tài)的第二標(biāo)識構(gòu)件(224b)；

所述第一標(biāo)識構(gòu)件(224a)和所述第二標(biāo)識構(gòu)件(224b)分別設(shè)置于所述第一滑動塊(223a)以及所述第二滑動塊(223b)上；

所述窗口(214)包括與所述第一標(biāo)識構(gòu)件(224a)和所述第二標(biāo)識構(gòu)件(224b)對應(yīng)設(shè)置的第一窗口(214a)和第二窗口(214b)；

所述第一窗口(214a)和所述第二窗口(214b)上設(shè)有第一透明密封結(jié)構(gòu)(218)。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述伸縮板(222)包括連接部(222b)以及鎖舌(222c)；

所述連接部(222b)設(shè)置于所述主體部(222a)的一端，且與所述轉(zhuǎn)盤(221)連接；

所述鎖舌(222c)設(shè)置于所述主體部(222a)的另一端且可從所述底蓋(21)的側(cè)壁穿出設(shè)置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述盒體(1)的側(cè)壁上設(shè)置有與所述鎖舌(222c)配合的鎖位(116)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述轉(zhuǎn)盤(221)包括盤體(2211)、設(shè)置于所述盤體(2211)上的轉(zhuǎn)軸(2212)以及設(shè)置于所述盤體(2211)上且與所述轉(zhuǎn)軸(2212)連接的聯(lián)接軸(2213)；

所述連接部(222b)上設(shè)有與所述聯(lián)接軸(2213)配合的連接卡口(2221)。

8.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述底蓋(21)上設(shè)有對所述轉(zhuǎn)盤(221)進(jìn)行限位的第一限位結(jié)構(gòu)(211)，所述轉(zhuǎn)盤(221)上設(shè)有與所述蓋板(23)配合的第一耐磨結(jié)構(gòu)(25)；

和/或，所述底蓋(21)上設(shè)有對所述伸縮板(222)進(jìn)行限位的第二限位結(jié)構(gòu)(212)，所述第二限位結(jié)構(gòu)(212)上設(shè)有與所述伸縮板(222)配合的第二耐磨結(jié)構(gòu)(26)；

和/或，所述蓋板(23)上設(shè)有與所述轉(zhuǎn)盤(221)配合的第三耐磨結(jié)構(gòu)(27)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述盒體(1)為透明盒體。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓片架的載具，其特征在于，所述用于晶圓片架的載具還包括限位支架(6)，所述限位支架(6)設(shè)置于所述盒體(1)中，用于對所述晶圓片架進(jìn)行限位；

和/或，所述用于晶圓片架的載具還包括彈片架(5)，所述彈片架(5)設(shè)置于所述盒體(1)中，用于支撐所述晶圓片架；

和/或，所述用于晶圓片架的載具還包括提手(4)，所述提手(4)可拆卸設(shè)置于所述盒體(1)上，所述提手(4)包括握持部(41)、以及設(shè)置于所述握持部(41)兩端的連接定位部(42)；所述盒體(1)上設(shè)置有與所述連接定位部(42)配合的定位槽(111)；所述連接定位部(42)與所述定位槽(111)之間通過設(shè)置螺接結(jié)構(gòu)(43)連接固定。