[實用新型]微機電結構、麥克風、電子煙開關以及終端

有效

• 申請號: 202220724636.0
• 申請日: 2022-03-30
• 公開（公告）號: CN217323378U
• 公開（公告）日: 2022-08-30
• 發明（設計）人: 張春偉;榮根蘭
• 申請（專利權）人: 蘇州敏芯微電子技術股份有限公司
• 主分類號: B81B7/02
• 分類號: B81B7/02;B81B7/00;H04R19/04;H04R19/00;H01H1/00
• 代理公司: 北京成創同維知識產權代理有限公司 11449
• 代理人: 蔡純;張靖琳

本公開提供了一種微機電結構、麥克風、電子煙開關以及終端，該微機電結構包括：振膜；第一背板，與所述振膜的表面相對；以及第一保護層，所述第一保護層包括多個第一氣流通道，所述第一氣流通道將所述第一保護層兩側氣體連通，每一所述第一氣流通道在所述第一保護層相對表面上分別形成第一交界面和第二交界面，所述第一交界面和所述第二交界面在垂直于所述第一背板的厚度方向的第一平面上的正投影至少不完全重合。該微機電結構利用保護層阻擋異物進入微機電結構內部，從而提高了產品的性能。

技術領域

本公開涉及半導體器件制造領域，更具體地，涉及微機電結構、麥克風、電子煙開關以及終端。

背景技術

基于微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems，MEMS)制造的器件被稱為MEMS器件，MEMS器件主要包括導電的振膜與背板，并且振膜與背板之間具有間隙。氣壓的改變會導致振膜變形，振膜與背板之間的電容值隨之發生改變，從而轉換為電信號輸出。

在MEMS麥克風和電子煙開關的使用過程中，容易在微機電結構中引入異物，例如灰塵顆粒、水、油污等等，如果這些異物進入微機電結構內部，尤其是振膜與背板之間的間隙中，這些異物極易導致振膜與電板之間出現短路的問題，進而使得MEMS麥克風和電子煙開關失效。

因此，希望提供一種改進的微機電結構結構，以提高產品的性能。

實用新型內容

有鑒于此，本公開提供了一種改進的微機電結構結構，利用保護層阻擋異物進入微機電結構內部，從而提高了產品的性能。

根據本公開實施例的第一方面，提供了一種微機電結構，包括：振膜；第一背板，與所述振膜的表面相對；以及第一保護層，所述第一保護層包括多個第一氣流通道，所述第一氣流通道將所述第一保護層兩側氣體連通，每一所述第一氣流通道在所述第一保護層相對表面上分別形成第一交界面和第二交界面，所述第一交界面和所述第二交界面在垂直于所述第一背板的厚度方向的第一平面上的正投影至少不完全重合。

可選地，所述第一保護層與所述振膜分別位于所述第一背板的相對兩側。

可選地，至少兩個所述第一氣流通道不連通。

可選地，所述第一保護層為多孔硅保護層。

可選地，包括具有腔體的襯底，所述襯底為硅襯底，位于所述第一保護層與所述第一背板之間，所述第一保護層與所述襯底經Si-Si鍵連接。

可選地，包括第二背板，與所述第一背板分別位于所述振膜的相對兩側。

可選地，包括第二保護層，與所述振膜分別位于所述第二背板的相對兩側，所述第二保護層包括多個第二氣流通道，所述第二氣流通道將所述第二保護層兩側氣體連通，每一所述第二氣流通道在所述第二保護層相對表面上分別形成第三交界面和第四交界面，所述第三交界面和所述第四交界面在垂直于所述第一平面上的正投影至少不完全重合。

可選地，至少兩個所述第二氣流通道不連通。

可選地，所述第二保護層為多孔硅保護層。

可選地，所述第二保護層通過光刻膠粘接在所述第二背板上。

可選地，包括具有腔體的襯底，所述振膜位于所述襯底上并覆蓋所述腔體，所述第一背板位于所述振膜上。

可選地，所述第一保護層通過光刻膠粘接在所述第一背板上。

根據本公開實施例的第二方面，提供了一種麥克風，包括如上所述的微機電結構。

根據本公開實施例的第三方面，提供了一種電子煙開關，包括如上所述的微機電結構。

根據本公開實施例的第四方面，提供了一種終端，包括如上所述的麥克風或電子煙開關。