[實用新型]HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統

有效

• 申請號: 202220713659.1
• 申請日: 2022-03-29
• 公開（公告）號: CN217052395U
• 公開（公告）日: 2022-07-26
• 發明（設計）人: 范繼良
• 申請（專利權）人: 黃劍鳴
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/44;C23C16/455;H01L31/20
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 王志

1.一種HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，包括：

電離裝置，所述電離裝置包括電極板、布氣盒及電源，所述布氣盒用于釋放電離的氣體于硅基板上，所述布氣盒呈導電的中空結構，所述布氣盒與所述電極板平行且正對設置，所述電極板位于所述布氣盒正上方，所述布氣盒的底部貫穿開設有若干供電離的氣體通過的沉積口；所述電極板與所述布氣盒的頂部之間的區域形成一封閉的電離輝光區；所述電離輝光區的一側與外界氣體連通，所述電離輝光區的另一側與所述布氣盒連通；所述電源的兩極分別對應與所述電極板和所述布氣盒電性連接；及

沉積裝置，所述沉積裝置包括沉積箱、用于承載硅基板的基板治具及阻隔治具，所述基板治具及阻隔治具設置于所述沉積箱內，所述沉積箱呈頂部敞口結構，所述沉積箱的頂部與所述布氣盒的底部對接連通，所述沉積箱具有底板，所述底板開始有抽風口，沿所述底板的長度方向兩側呈平行的設有兩導軌；所述基板治具呈平底的U字形結構，平底的U字形結構的空區域形成供基板豎直插入或拔出的基板承載區，所述基板治具呈等間距的平行垂直設置于所述底板上，相鄰兩所述基板治具之間的距離為E，所述基板治具位于兩所述導軌之間；所述阻隔治具包括阻隔板及平頂且呈倒U字形結構的滑動架，所述滑動架的兩側底部向外彎折延伸形成安裝部，所述安裝部與所述導軌呈滑動的連接，所述阻隔板呈豎直的設置于所述滑動架內，所述阻隔板與所述滑動架的平頂連接，所述阻隔治具呈等間距的平行垂直于所述底板，相鄰兩所述阻隔治具之間設有一所述基板治具，相鄰兩所述阻隔治具之間的距離為所述E，所述阻隔板正投影于相鄰的所述基板治具的陰影完全覆蓋所述基板承載區。

2.如權利要求1所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，所述電離輝光區的右側開設有供外界氣體連通的進氣口，所述電離輝光區的左側開設有供電離的氣體進入所述布氣盒的出氣口，所述布氣盒借由所述出氣口與所述電離輝光區連通。

3.如權利要求1所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，所述電離裝置還包括絕緣圍擋，所述絕緣圍擋環繞設置于所述電極板與所述布氣盒的頂部之間的邊界，所述電極板與所述布氣盒的頂部之間的區域借由所述絕緣圍擋圍合形成所述電離輝光區。

4.如權利要求1所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，還包括上支撐件，所述基板治具的兩側的上端分別與所述上支撐件連接，所述上支撐件借由所述基板治具的支撐而呈懸空的位于所述底板之上，所述上支撐件與所述導軌呈平行設置。

5.如權利要求4所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，所述阻隔板的兩側與所述滑動架之間具有滑動間隙，所述上支撐件呈滑動的穿過所述滑動間隙。

6.如權利要求5所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，還包括下支撐件，所述基板治具的兩側的下端分別與所述下支撐件連接，所述下支撐件呈凸出的與所述底板連接，所述下支撐件與所述導軌呈平行設置，所述下支撐件呈滑動的穿過所述滑動間隙。

7.如權利要求1所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，所述安裝部與所述導軌呈滑動的卡合連接。

8.如權利要求1所述的HIT異質結太陽能電池用雙面沉積系統，其特征在于，所述抽風口位于相鄰兩所述基板治具之間。