[實用新型]一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置

有效

• 申請號: 202220703227.2
• 申請日: 2022-03-29
• 公開（公告）號: CN217181404U
• 公開（公告）日: 2022-08-12
• 發明（設計）人: 金成昱;梁賢石
• 申請（專利權）人: 成都高真科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 梁田

1.一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，包括加工設備(101)，所述加工設備(101)安裝有包含掃描器(102)的高度檢測裝置，掃描器(102)配置有主曝光燈(103)和備曝光燈(104)，其特征是，所述加工設備(101)還安裝有邊緣曝光裝置，邊緣曝光裝置和高度檢測裝置同步啟閉；

所述備曝光燈(104)設有用于將光線聚集后傳導至位于邊緣曝光裝置中的目標晶圓邊緣處的光傳導組件(201)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述光傳導組件(201)包括燈箱(202)、傳導光纖(203)和聚光透鏡(204)，備曝光燈(104)位于燈箱(202)內；

所述傳導光纖(203)一端與燈箱(202)底部連接，另一端與聚光透鏡(204)連接；

所述聚光透鏡(204)安裝在目標晶圓正上方，以將光線聚集后正投影至目標晶圓的邊緣。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述主曝光燈(103)和備曝光燈(104)同步啟閉。

4.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述主曝光燈(103)和備曝光燈(104)采用相同參數的曝光燈。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述主曝光燈(103)和備曝光燈(104)均采用紫外線燈。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述高度檢測裝置還包括用于檢測高度的液位傳感器。

7.根據權利要求1所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述加工設備(101)為履帶式傳送設備。

8.根據權利要求1-7任意一項所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，所述主曝光燈(103)和備曝光燈(104)均配置有光強度傳感器(301)；當光強度傳感器(301)檢測到的光照強度值低于第一預設值時，輸出第一預警信號；

或，所述邊緣曝光裝置和高度檢測裝置均設有用于檢測相應曝光燈的光強度傳感器(301)；當光強度傳感器(301)檢測到的光照強度值低于第一預設值時，輸出第一預警信號。

9.根據權利要求8所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，還包括報警器(305)、控制器(304)以及與光強度傳感器(301)一一對應設置的第一比較器(302)；

所述光強度傳感器(301)的輸出端與相應第一比較器(302)的正相輸入端連接；第一比較器(302)的輸出端與控制器(304)的輸入端連接；控制器(304)的輸出端與報警器(305)的輸入端連接；

所述控制器(304)響應于第一比較器(302)輸出的低電平控制報警器(305)啟動。

10.根據權利要求9所述的一種晶圓加工用掃描式高效曝光裝置，其特征是，還包括與光強度傳感器(301)一一對應設置的第二比較器(303)；

所述光強度傳感器(301)的輸出端與對應第二比較器(303)的正相輸入端連接；第二比較器(303)的輸出端與控制器(304)的輸入端連接；控制器(304)的輸出端與主曝光燈(103)和備曝光燈(104)的供電電源(306)連接；

所述第二比較器(303)的基準值為大于第一預設值的第二預設值；

所述控制器(304)響應于第二比較器(303)輸出的高電平控制供電電源(306)降低主曝光燈(103)和備曝光燈(104)的光照強度。